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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 5 (q4o`  
     VmXXj6l&  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ItZ*$I1<  
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    NZ+TTMv  
    建模任务 20:![/7:!  
    /U6ry'  
     ' wp _U /  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~ET XXu${I  
     w(*},  
    某一位置的Talbot图样 WP^wNi ~>  
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    某一位置的Talbot图样 r =]$>&  
    ^5k~ 7F.  
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    :*t5?  
    不同位置的Talbot图样 crgVedx~}  
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    Y+0GJuBf  
    不同位置的Talbot图样 bH%d*  
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    #f_.  
    沿Z轴的强度 *{O[}  
    s+h}O}RV  
     Bt(nm> Ng  
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    走进VirtualLab Fusion o76{;Bl\O  
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    K :>O X  
    VirtualLab Fusion的工作流程 T5dnj&N ]  
    M5N #xgR  
     构建光栅结构 ^3QJv{)Q  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] L08lkq,  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 7s Gf_`Z  
    lnK#q .]  
     通过参数运行计算不同位置的强度 !bCaDTz  
    - 参数运行文件的使用 [用例] C>QWV[F  
    qTG i9OP6/  
    ~{pds  
    VDiW9]  
    VirtualLab Fusion技术 O-3aU!L  
    {W=5 J7  
     [n3@*)q's  
     
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