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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 SXwgn >  
     $O%lYQY]  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 1[} =,uaM  
    Kcsje_I-M  
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    建模任务 u17Da9@;  
    FK }x*d  
     X.j#??  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) v$+G_@  
     ( J\D"4q  
    某一位置的Talbot图样 K)_0ej~C  
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    某一位置的Talbot图样 [|ky~sRr  
    o:f=dBmoX  
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    不同位置的Talbot图样 ;yBq'_e3  
    !yoj ZG MB  
     O4]Ss}ol  
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    不同位置的Talbot图样 IR5 S-vO  
    ugVsp&i#  
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    X H{5E4P  
    沿Z轴的强度 PM[6U#  
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     |os2@G$  
    `z Z=#p/  
    走进VirtualLab Fusion WuSRA<{P  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 ]L}<Y9)t  
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     构建光栅结构 hCQ{D|/  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] je_77G(F  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] o"7,CQye  
    :bLGDEC  
     通过参数运行计算不同位置的强度 1V FAfv%}  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Nf<([8v;t  
    } ..}]J;To  
    Kqhj=B  
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    VirtualLab Fusion技术 GrVvOJr  
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     r[EN`AxDb  
     
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