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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 zbn0)JO  
     1^rODfY0  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 <kIg>+  
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    建模任务 m@  b~  
    6N[XWyS  
     P [-2^1P"  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ];bB7+  
     LQ pUyqR  
    某一位置的Talbot图样 |r_S2)zH9m  
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    某一位置的Talbot图样 \NwL#bQ~  
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    不同位置的Talbot图样 Fn0Rq9/@  
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    不同位置的Talbot图样 Rg~ ~[6G>  
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    沿Z轴的强度 eKV^ia  
    (m|w&oA/  
     $$+6=r}  
    z1A[rbe=4w  
    走进VirtualLab Fusion ,W"Q)cL  
    >!:uVS  
     !Tuc#yFw  
    o<2H~2/  
    VirtualLab Fusion的工作流程 _ h\wH;  
    * Zb-YA  
     构建光栅结构 KrN#>do&<  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ^Z]1Z  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] l?E7'OEF:  
    Qe<D X"  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ka3Jqy4[  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Fa78yY+6  
    :{NvBxc[  
    Wi]Mp7b  
    $8#zPJR&  
    VirtualLab Fusion技术 7@"J&><w!  
    gd3~R+Kd  
     ((L=1]w  
     
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