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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 DB-79U%W  
     |N% l at  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 6kLy!QS  
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    建模任务 U5H%wA['m  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) >yXhP6  
     ,>7dIJqzw  
    某一位置的Talbot图样 :q*w_*w  
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    某一位置的Talbot图样 wv."  
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    不同位置的Talbot图样 8a)Brl}u  
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    不同位置的Talbot图样 5$'[R ;r  
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    沿Z轴的强度 YW&K,)L@  
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    走进VirtualLab Fusion 9t)Hi qj  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 d]O:VghY\  
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     构建光栅结构 3 mAizq3  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] sBa:|(Y.  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] u%z'.#r;a  
    d/OP+yzgZ  
     通过参数运行计算不同位置的强度 'q$Y m0nL  
    - 参数运行文件的使用 [用例] QJ(%rvn3  
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    VirtualLab Fusion技术 Q;y5E`G  
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