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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 9RkNRB)8  
     R\/tKZJjb  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 5j9%W18  
    .f>7a;V?}  
     a$bE2'cb  
    YIb7y1\UM  
    建模任务 )V*`(dn'zm  
    Uty0mc(  
     ;lhW6;oI'  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) {G<1.  
     t -fmA?\  
    某一位置的Talbot图样 >RpMw!NT  
    K,*-Y)v2W  
     \$F#bIjC  
       'Z#>K*  
    某一位置的Talbot图样 Fzy#!^9Nu  
    P4|A\|t  
     1\)lD(J\C  
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    不同位置的Talbot图样 pZt>rv  
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     >*n4j:  
    R4$(NNC+/  
    不同位置的Talbot图样 :QXKG8^  
    S?OCy4dk:  
     8=?U7aw  
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    沿Z轴的强度 kr!>rqN5  
    yF+mJ >kj  
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    走进VirtualLab Fusion 4p6T0II_$  
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    B7o US}M  
    VirtualLab Fusion的工作流程 %Q;:nVt  
    $*Wa A`(U  
     构建光栅结构 ?wn <F}UH  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] F6:LH,~8   
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] /ZH*t\  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 :&2% x  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Lc "{ePFh  
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    VirtualLab Fusion技术 7vI ROK~  
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