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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 dDk<J;~jGJ  
     akQtre`5sd  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 7[V'3  
    `}u~nu<  
     A|@d4+  
    FyQ^@@  
    建模任务 2{h9a0b  
    9W7H",wR  
     Efw/bTEg  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) : C;=<$  
     { lLUZM  
    某一位置的Talbot图样 zUxF"g-W  
    TO)wjF_  
     !/$BXUrd  
       ^fb4g+Au  
    某一位置的Talbot图样 4S.%y7d\  
    4//Ww6W:  
     (N43?iv(  
    W#0pFofXw  
    不同位置的Talbot图样 /^0Hi4+\  
    {{=7mbc  
     c{#lKD<7  
    Y6fU;  
    不同位置的Talbot图样 O`mW,  
    3!CI=(^IY  
     D x Vt  
    'F[QE9]*  
    沿Z轴的强度 t/S~CIA  
    \aT._'=M+  
     12E@9s$Z  
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    走进VirtualLab Fusion 4k$BqM1  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 o,Ew7~u  
    m&|?mTo>m  
     构建光栅结构 0  x"3  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 6576RT  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] g[@]OsX   
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     通过参数运行计算不同位置的强度 Q9#$4  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ;][1_  
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    VirtualLab Fusion技术 j|HOry1E&  
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