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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-10-20
    摘要 r&;AG@N/  
     ?c*d z{  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 p%'((!a2  
    TA5M4r6  
     qI:wm=  
    HN%ZN}  
    建模任务 }o.ZCACYg  
    Dr609(zg^  
     Joj8'  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #^Y-*vf2  
     /@e\I0P^  
    某一位置的Talbot图样 |n/id(R+  
    #'oKkrl  
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    某一位置的Talbot图样 Zup?nP2GkT  
    L2%P  
     ~XRr }z_Lq  
    . b"e`Bw_=  
    不同位置的Talbot图样 3 -FNd~%  
    To+{9"$,  
     +Oa1FvoEA  
    Sl#XJ0 g  
    不同位置的Talbot图样 W` V  
    2o;M:+KQ)  
     Qn7e6u@V  
    f#jAjzmYL  
    沿Z轴的强度 M 5h U.3.L  
    ORTM [cL  
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    走进VirtualLab Fusion |r%P.f:y{X  
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     0=iJT4IEJ  
     xMU)  
    VirtualLab Fusion的工作流程 DzEixE-  
    ^B/{  
     构建光栅结构 wP i=+  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ?/~1z*XUW  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] .:0nK bW  
    ZO~N|s6B^  
     通过参数运行计算不同位置的强度 li[g =A,  
    - 参数运行文件的使用 [用例] mon(A|$|j  
     O-k(5Zb  
    (\T?p9  
    xab[  
    VirtualLab Fusion技术 IlVi1`]w  
    sXUM,h8$!+  
     s`{O-  
     
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