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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 ="E^9!  
    ,nn5LQ|l.j  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       H:9Z.|{Gv  
    jwsl"zL  
    2. 建模任务 \~V Z Y  
    5Z2E))UU  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    GA&mM   
    8`bQ,E+2  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) \QF\Bh  
    $Pa7B]A,Ae  
     ;8WgbR)ZLU  
       :1%z;  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) .Q'/e>0  
    ^X2U A{  
     QuuR_Ao?c'  
    Uh.XL=wY  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) cG|)z<Z  
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    Z4S0{:XY  
    6. 3D仿真与结果对比 `x;8,7W;B  
    B35zmFX|}N  
     "=~P&Mi_  
    *We.?"X'].  
    7. 走进VirtualLab Fusion 3/ sKRU  
    npcB+6  
     p #vZYwe=L  
    ^B9rt\,q  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 99XbpP55  
    i!zh9,i>M  
    \EH:FM}l,  
     构造光栅结构 z-(#Mlq:!  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ciKkazx.  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] EZvB#cuL-  
     计算光栅结构内部的场分布 u rGk_.f  
    gI^);J rTE  
     $V"NB`T  
    StUiL>9T#  
    9. VirtualLab Fusion技术 )tQG5.to  
    7mulNq  
    f'/@h Na3  
     
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