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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    1. 摘要 hw*1gm  
    {|Bd?U;  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
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    2. 建模任务 loLKm]yV  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    N70zjy4?fL  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 3hLqAj  
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       oikxg!0S  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) q P'[&h5Y  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ",T` \8&@e  
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    6. 3D仿真与结果对比 Y|:YrZSC  
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    7. 走进VirtualLab Fusion Hk~k@Wft  
    Hxn<(gd G  
    A*Rn<{U  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 \@8*TS  
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     构造光栅结构 SD^E7W$?  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] F(;jM(  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] l 1|~  
     计算光栅结构内部的场分布 #cO+<1  
    /z#F,NB  
    ld95[cTP  
    'bC]M3P  
    9. VirtualLab Fusion技术 'g~@"9'oe  
    4~*Y];!Q  
    A=y"x$%-_  
     
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