1. 摘要 n287@Y4Ru
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 d5u,x.R bg 7b!t1F 2. 建模任务 Ya,>E@oc P3N
f< 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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I@x*> 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
y6G[-?"/Q .0s/O 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ,cj34W`FWq
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KXR 7$b78wax 6. 3D仿真与结果对比 _YbHnb
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H,zRmK6A% U[Z1@2zLx 7. 走进VirtualLab Fusion \N;s@j W
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}.e*=/"MB Aja'`Mu 8. VirtualLab Fusion的工作流程 H# Vs3*VK
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构造光栅结构 KqB(W,$
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] :a`l_RMU
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