1. 摘要 hw*1g m
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 =Aj"j-r&{ 4Q$!c{Y
r 2. 建模任务 loLKm]yV 7pz\ScSe 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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N70zjy4?fL 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
y^SyhG,V[ (ZS/@He 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 3h LqAj
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-IbbPuRq 'Wtf>` 6. 3D仿真与结果对比 Y|:YrZSC
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j uS&LG#a 7. 走进VirtualLab Fusion Hk~k@Wft
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A*R n<{U EQ/^& 8. VirtualLab Fusion的工作流程 \@8*T S
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构造光栅结构 SD^E7W$?
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] F(;jM(
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计算光栅结构内部的场分布 #cO+ <1
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ld95[cTP 'bC]M3P 9. VirtualLab Fusion技术 'g~@"9'oe 4~*Y];!Q A=y"x$%-_