1. 摘要 i#W0
S@PAtB5
在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 wc.T;( BmGY#D, 2. 建模任务 ?,0 5!] ;&v~tD7 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
:^oF0,-qZ
$X%'je 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
R#0Z Az"(I>VfD 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) qS{E+) P
vsL)E:0
+{F2hEYP 4OOH
3O 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 7xr@$-U
mzkv/
,
e6}p }uaRS9d 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) drc]"6 k
cun&'JOH?U
l[D5JnWxt C_~hX G 6. 3D仿真与结果对比 +^\TG>le
1<ic
5kB
e dv&! uO,9h0y0W 7. 走进VirtualLab Fusion j jLwHJ
$xl>YYEBMH
f8c'`$O 9< $n'g 8. VirtualLab Fusion的工作流程 B<p -.tv
1ae,s{|
Cj6+zJ
构造光栅结构 5!pof\/a
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] <*4BT}r,^2
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] r%^l~PN
计算光栅结构内部的场分布 5RysN=czA
dvl'Sq<
f1_b``M (ndTEnpp 9. VirtualLab Fusion技术 Jiv%Opo/| [m9Iz!E qQ%RnD9