1. 摘要 oj,Vi-T Z
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 r!-L`GUm }lrfO_ 2. 建模任务 J~nJpUyP* _s*uF_:3 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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f%(e,KgW= 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
?45K%;.9Q -jklH/gF\% 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) gFH;bZU
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k 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Bm2}\KOI
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<m 6. 3D仿真与结果对比 d/-0B<ts
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RQ$o'U9A dwsy(g7 8. VirtualLab Fusion的工作流程 d$G%F $BTs
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构造光栅结构 HS|g
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] @,f,tk=\S
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] hH@o|!y
计算光栅结构内部的场分布 P.2.Ge|
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