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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 9小时前
    1. 摘要 ,sa%u Fm  
    nBN+.RB:(  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       -l:4I6-hi  
    4lVvs(W?  
    2. 建模任务 \/wbk`2  
    ApT8;F B  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    GBh$nVn$  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    $u ae8h  
    80'!XKSP  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Ba8 s  
    ?KB+2]7m6  
     B_kjy=]O.  
       B'AU~#d  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) s%6{X48vY^  
    kWSei3  
     =%i~HDiy  
    y;GwMi $KI  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) \dx$G?R  
    /QgU!:e  
     ;2&ym)`  
    C6 PlO  
    6. 3D仿真与结果对比 U8>M`e"D  
    Qm(KvL5  
     :j<ij]rsI  
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    7. 走进VirtualLab Fusion ,E._A(Z  
    "p"M9P'  
     3* v&6/K  
    E!s?amM4  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 [( O*W  
    >V,i7v*?  
    `[(.Q  
     构造光栅结构 qQ{i2D%)?f  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] _rN1(=J  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] b}-/~l-:  
     计算光栅结构内部的场分布 > &VY  
    SK]"JSY`  
     )q8!:Z  
    o4U[;.?c  
    9. VirtualLab Fusion技术 yGs:3KI  
    32S5Ai@Cd"  
    K^yZfpa8  
     
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