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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 y 1nU{Sc@  
    bjzx!OCpV  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       qd8pF!u|#  
    agT7=hX].  
    2. 建模任务 j|(:I:]  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    ve-8*Xa  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Nv3tt  
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      5~s{N  
       ^*>n4U  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ANb"oX c  
    ]/44Ygz/  
     WsB3SFNG  
    yoU2AMH2D^  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Rcf=J){D6  
    &I)\*Ue2t  
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    6. 3D仿真与结果对比 *B{-uc3o  
     i6 L  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 9U'[88  
    85hQk+Bu4  
     X:{WZs"[x  
    74]a/'4  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 lsFfb'>  
    Tq#<Po $  
    :kN5?t=  
     构造光栅结构 (3O1?n[n  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] fYn{QS?  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] WgPgG0VJE  
     计算光栅结构内部的场分布 Qi:j)uDW  
    6(.H3bu  
     +c r  
    p%8 v`  
    9. VirtualLab Fusion技术 I.9o`Q[8&  
    ]#5^&w)'  
    -#%X3F7/w  
     
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