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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-24
    1. 摘要 ~X^L3=!vf  
    esH>NH_  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       N|c;Qzl  
    huu:z3{=J  
    2. 建模任务 Zx(VwB2   
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    LL5n{#)N  
    )v1n#m,W  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    ] (3e +JC  
    2R&msdF   
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) t\nYUL-H  
    .jRp.U  
     /dpEL9K  
       Hm|8ydNs  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) sE$!MQb  
    1 dT1DcZ  
     !/G2vF"  
    WJ$D]7  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) d\}r.pD  
    zhH-lMNj-  
     +E7s[9/r  
    &g R+D  
    6. 3D仿真与结果对比 $:V'+s4o  
    <rc?EV  
     5" <7  
    53d8AJ_@X  
    7. 走进VirtualLab Fusion  V3WHp'1  
    z=>U>  
     bX%9'O[-  
    [mKPOg-t  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ~"89NVk"  
    DjK:)  
    + ^n [B  
     构造光栅结构 {)]5o| Hx  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] b f.__3{  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] X TpYf  
     计算光栅结构内部的场分布 iJE  $3  
    7Z0fMk  
     [V_Z9-f*  
    '`Eb].s*  
    9. VirtualLab Fusion技术 !E<y:$eH:  
    jovI8Dw >  
    2Z 4Ekq0@  
     
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