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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 vJaWHC$q  
    !:m.-TE  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       <gFa@at  
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    2. 建模任务 9=~ZA{0J  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) [8a(4]4  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 2 4+  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) aTTkj\4  
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    >]pZ;e$  
    6. 3D仿真与结果对比 mpug#i6q  
    gDVsi  
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    7. 走进VirtualLab Fusion ?UAuUFueA  
    Cd_@<  
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    D9[19,2r`  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 6qHD&bv\%C  
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     构造光栅结构 oj - `G  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] D[/fs`XES  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] /iFn =pk1?  
     计算光栅结构内部的场分布 \ saV8U7B  
    ud  r\\5  
     `P;r[j"  
    RJ'[m~yl5X  
    9. VirtualLab Fusion技术 B=TUZ)  
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    @01.Pd   
     
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