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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 s+fxv(,"c  
    Or?c21un  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    _+aR| AEC  
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    2. 建模任务 BI-'&kPk  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    z8"1*V  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 3b0|7@_E  
    z7:* ,X  
    H<fi,"X^  
       2bw) , W  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) p6BDhT(RS  
    0U*f"5F  
    8N"WKBj|_d  
    =8tK]lb  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 1,OkuyXy!>  
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    6. 3D仿真与结果对比 x`C"Z7t  
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    7. 走进VirtualLab Fusion KGc.YUoE  
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    p9 ,[kb  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 aN*{nW  
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     构造光栅结构 t}Td$K7  
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