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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 :Vg}V"QR  
    pium$4l2#  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       sA9 &/p/  
    Gg\G'QU  
    2. 建模任务 Q,Z*8FH=  
    Px M!U!t  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    ED$DSz)x  
    j<pw\k{i  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    JK#vkCkyM  
    m}$+Hdk+7  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 6zIgQ4Bp24  
    JNWg|Qt  
     yB LUNIr  
       ig0u^BC  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) kW6%32  
    Sx ] T/xq  
     oK+ WF  
    IfDx@?OB  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 8_d -81Dd  
    ~un%4]U  
     `-B+JQmen  
    lEPAP|~uw  
    6. 3D仿真与结果对比 [O-sVYB  
    /T0nLp`gi  
     ;]CVb`d  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 0;~yZ?6_F  
    +TN9ujL6@  
     %K 4  
    oJ*1>7[J  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 $e\N+~KNCy  
    F5gObIJtuY  
    q}L+/+b  
     构造光栅结构 {bF1\S]2  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] tUE'K.-  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] xPmN},i'R$  
     计算光栅结构内部的场分布 h3u1K>R)  
    eukA[nO7G  
     7N2\8kP  
    -ewQp9)G  
    9. VirtualLab Fusion技术 Aj"7q  
    NB8&   
    e[Xq  
     
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