1. 摘要 s+fxv(,"c
Or?c21un
在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 _+aR|AEC Kf[.@_TD<1 2. 建模任务 BI-'&kPk Q<D_QJ 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
z8"1*V
.'H$|"(v 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
tF-l=ph}` ;qUB[Kw 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 3b0|7@_E
z7:*
,X
H<fi,"X^ 2bw), W 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) p6BDhT(RS
0U*f"5F
8N"WKBj|_d =8tK]lb 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 1,OkuyXy!>
%>9L}OAm
{.e+?V2>_ |XG&[TI- " 6. 3D仿真与结果对比 x`C"Z7t
s#a`e]#?
3 V ^5 4_ 4[kyzz x 7. 走进VirtualLab Fusion KGc.YUoE
3w |5%`
n CX{tqy p9 ,[kb 8. VirtualLab Fusion的工作流程 aN*{nW
(2Lmu[
O wu?ND
构造光栅结构 t}Td$K7
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ']\SX*z?
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] L;M@]
计算光栅结构内部的场分布 hG#2}K_
-?1R l:rM
*JFkqbf gXs9qY%= 9. VirtualLab Fusion技术 Z+6WG d6[' [dG j-**\.4a~