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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 ^G`6Zg;  
    IrZ\;!NK  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       s9"X.-!  
    67&IaDts  
    2. 建模任务 x&DqTX?b,  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    4vi?9MPz  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    v`QDms,{  
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) *cM=>3ws/  
    hd'fWFW N  
     @k;65'"Q  
       +`wr{kB$~  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) \?t8[N\_[(  
    G{6@]72  
     wxcJ2T dH  
    mD7NQ2:wA  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) p5E okh  
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     FJH>P\+  
    $!. [R}  
    6. 3D仿真与结果对比 Q8Ek}O\MC  
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    7. 走进VirtualLab Fusion H0inU+Ih  
    0 N7I:vJ  
     G"&$7!6[Y  
    Txo{6nd/  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ^k % +ao  
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    16eP7s  
     构造光栅结构 )|v  du  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 3(J>aQZuI  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] eD7\,}O  
     计算光栅结构内部的场分布 ESoqmCJjb:  
    )M Iw/  
     ha|2u(4  
    pW8?EGO@  
    9. VirtualLab Fusion技术 "24d:vf\  
    *-]k([wV  
    5YPIv-  
     
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