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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 :F5(]g 7  
    ++w{)Io Z  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       Nc6y]eGz  
    LkeYzQH/l  
    2. 建模任务 $igMk'%Nmb  
    rfdA?X{Q0  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    MeV4s%*O+  
    ZyU/ .Uk  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    S%]4['Y  
    ,EH-Sf2Cb  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ]mJ9CP8P1c  
    )jI4]6  
     Z^F>sUMR  
       qYqd-R  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Y,n8co^  
    -[=@'N P  
     '#K~hep  
    |L;Hd.l7^*  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 6EWCJ%_  
    pOy(XUV9O  
     WVyq$p/V  
    Q\~#cLJ/  
    6. 3D仿真与结果对比 pdQaVe7tRo  
    w0>5#j q#r  
     >&Ye(3w&  
    cw BiT  
    7. 走进VirtualLab Fusion /KiaLS  
    dZ,7q_r,~  
     ^*NOG\BK@  
    q<g!bW%  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 <1V>0[[e  
    >]bS"S  
    @$ )C pg  
     构造光栅结构 5',b~Pp  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] H'2o84$  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] sGMnm  
     计算光栅结构内部的场分布 )A;jBfr  
    f`J[u!Ja  
     ' #r^W2  
    C5^N)-]"  
    9. VirtualLab Fusion技术 9 Xh<vh8&  
    H~<wAer,Op  
    { 6*UtG  
     
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