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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 ?7kV+{.  
    OVUs]uK  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       oa &z/`@  
    @bW[J  
    2. 建模任务 EN-H4F  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    c/=y*2,zo  
    @UpC{M--Wr  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    ^0Q=#p  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) \U!@OX.R'M  
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     %]chL.s  
       oF;%^XFp  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) (~ ]g,*+  
    xz"Z3B  
     s ~Lfi.  
    9P7xoXJ@y  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 3"'# |6O9  
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    (}{_]X|e  
    6. 3D仿真与结果对比 ` /I bWu  
    X`fhln9N  
     KbwTj*k[  
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    7. 走进VirtualLab Fusion A,m4WO_q3  
    : F7k{~  
     /`+Hw dk  
    /lLov.  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 b|sc'eP#?  
    &gGs) $f[  
    K,eqD<  
     构造光栅结构 mW~i c  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] NqJ<!q)  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] Pqy-gWOv  
     计算光栅结构内部的场分布 lx{.H,1~  
    I!fB1aq-  
     Jo{ zy  
    y)3~]h\a  
    9. VirtualLab Fusion技术 x7 "z(rKl  
    8^/+wa+G  
     6R;)  
     
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