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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-09-24
    1. 摘要 w u  
    u9 yXHf  
    在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
    Qs^Rh F\d  
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    2. 建模任务 n#|pR2  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) #CaT0#v  
    F5#P{ zk|  
    eI 6G  
       9z:P#=Q:  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) C6XZZ  
    H#LlxD)q  
    Y_}DF.>I P  
    !M[a/7x,p  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 6IVa(;  
    Y`x54_32  
    Z3)l5JG)  
    $g?`yE(K  
    6. 3D仿真与结果对比 .-6B6IEI_"  
    `V;vvHP A  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 6S~l gH:  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 jE !W&0  
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     计算光栅结构内部的场分布 !]W}I  
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