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WKM)*@#, 内容简介 m4w')r~ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {QaNAR=) 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 []W;t\h 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 7k%T<;V oP?YA-#nc 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 z2c5m 目录 +t)n;JHN Preface 1 EOKzzX7 S 内容简介 2 EpPf_ \o 目录 i -<_$m6x"A 1 引言 1 N^0uit 2 光学薄膜基础 2 ~i;fDQ&! 2.1 一般规则 2 Gi6T[" 2.2 正交入射规则 3 |+IZS/W" 2.3 斜入射规则 6 Yepe=s+9 2.4 精确计算 7 ]uL+&(cr 2.5 相干性 8 C_fY %O 2.6 参考文献 10 q>:$c0JY 3 Essential Macleod的快速预览 10 KLQTKMNv 4 Essential Macleod的特点 32 *!e(A ]& 4.1 容量和局限性 33 `\|ssC8u 4.2 程序在哪里? 33 )u ?' ; 4.3 数据文件 35 &:B<Q$g# 4.4 设计规则 35 &xZyM@ 4.5 材料数据库和资料库 37 hPhZUL% 4.5.1材料损失 38 .S\&L-{ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 SF]@| 4.5.2 材料库 41 7sNw 4.5.3导出材料数据 43 >k7q
g$ 4.6 常用单位 43 >XW*T5aUA 4.7 插值和外推法 46 cTZ.}eLh 4.8 材料数据的平滑 50 h #Z4pN8T3 4.9 更多光学常数模型 54 Ok-.}q>\Mv 4.10 文档的一般编辑规则 55 u~zs*
qp 4.11 撤销和重做 56 { >{B`e`$ 4.12 设计文档 57 L];y}]:F* 4.10.1 公式 58 W{cY6@ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *v%rMU7, 4.10.3 沉积密度 59 }f>H\iJe 4.10.4 平行和楔形介质 60 ~=r^3nZR/J 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 $WQq?1.9 4.10.4 性能 61 cFd
>oDS 4.10.5 保存设计和性能 64 O OFVnu 4.10.6 默认设计 64 (LAXM
x 4.11 图表 64 RH;:9_*F 4.11.1 合并曲线图 67 )o _j]K+xI 4.11.2 自适应绘制 68 o6kNx>tc) 4.11.3 动态绘图 68 u8zbYd3 4.11.4 3D绘图 69 =;~I_)Pg1 4.12 导入和导出 73 &.i^dO^} 4.12.1 剪贴板 73 Wk;5/ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 f,i5iSYf 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 72oWhX=M% 4.13 背景 77 ~rbIMF4T`] 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 q(^Q3 4.15 生成Rugate 84 <pLT'Y= 4.16 参考文献 91 :HViX:]H 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
^{@![' 5.1 Jobs 92 3*_fzP<R 5.2 创建一个新Job(工作) 93 }w-wSkl1 5.3 输入材料 94 9$K;Raz% 5.4 设计数据文件夹 95 8
}'|]JK 5.5 默认设计 95 [(LV 6 细化和合成 97 Z5G!ct:W 6.1 优化介绍 97 n_K~vD 6.2 细化 (Refinement) 98 ["<nq`~ 6.3 合成 (Synthesis) 100 1,y&d}GW 6.4 目标和评价函数 101 0O!cN_l| 6.4.1 目标输入 102 ,0$)yZ3*3, 6.4.2 目标 103 kW=z+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 a.F Al@Br 6.5 层锁定和连接 104 cRvvzX 6.6 细化技术 104 1-SVCk
- 6.6.1 单纯形 105 3Q}$fQ&S 6.6.1.1 单纯形参数 106 9W*+SlH@! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Z*{]
, 6.6.2.1 Optimac参数 108 <T?oKOD ] 6.6.3 模拟退火算法 109 @# P0M--X 6.6.3.1 模拟退火参数 109 RH)EB<PV 6.6.4 共轭梯度 111 VUU]Pu &
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 GDaN 6.6.5 拟牛顿法 112 _=6 rE 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 2 mjV~ 6.6.6 针合成 113 "pxzntY| 6.6.6.1 针合成参数 114 3{Nbp 6.6.7 差分进化 114 i yYJR 6.6.8非局部细化 115 QA!_} N4n 6.6.8.1非局部细化参数 115 UK#&lim 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Upl6:xYrG 6.7.1 细化 116 td2/9|Q 6.7.2 合成 117 5vzceQE} 6.8 参考文献 117 Q }k.JS~# 7 导纳图及其他工具 118 =Yo1v=wxN 7.1 简介 118 = iB,["s 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 YO)$M-]>%J 7.2.1 四分之一波长规则 119 aAvsb$ 7.2.2 导纳图 120 +H/jK @ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Y>."3*^ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 D:\ g,\Z 7.5 斜入射导纳图 141 pVp:@0h 7.6 对称周期 141 dth&?/MERL 7.7 参考文献 142 Rn%N&1
Ef 8 典型的镀膜实例 143 ]-o"}"3Ef 8.1 单层抗反射薄膜 145 =]R3& ]#n 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 u#7+U\ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _GQz!YA 8.4 W-膜层 148 p4> $z& _ 8.5 V-膜层 149 Q\
^[!| 8.6 V-膜层高折射基底 150 wle@vCmr 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Gnm4gF!BI 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 vh!v
MB}} 8.9 四层抗反射薄膜 153 %WG9 dYdS 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 `[#x_<\t 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 n@C~ev@%S 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 c47")2/yO 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 q}uHFp/J 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 UnDgu4#R`A 8.15十五层宽带抗反射膜 159 m%+IPZ2m 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 PALl sGlf 8.17 1/4波长堆栈 162 kyh_9K1 8.18 陷波滤波器 163 nq}Q 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 EY`H}S!xy 8.20 褶皱 165 /e\{
8.21 消偏振分光器1 169 5pNY)>]t= 8.22 消偏振分光器2 171 O[17";P 8.23 消偏振立体分光器 172 ;Lw{XqT 8.24 消偏振截止滤光片 173 2g*J 8.25 立体偏振分束器1 174 M/PFPJ >` 8.26 立方偏振分束器2 177 jcCoan 8.27 相位延迟器 178 x)rlyjFM 8.28 红外截止器 179 sGDV]~E 8.29 21层长波带通滤波器 180 #0I{.Wy] 8.30 49层长波带通滤波器 181 $m1<i?'m 8.31 55层短波带通滤波器 182 1RLY $M 8.32 47 红外截止器 183 P=L$;xgp 8.33 宽带通滤波器 184 %ugHhS! 8.34 诱导透射滤波器 186 5/[H+O1; 8.35 诱导透射滤波器2 188 >M%\T}5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 V=I"-k}RL 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 a~h:qpgc 8.35 增益平坦滤波器 193 "Y`3DxXz 8.38 啁啾反射镜 1 196 ,iNv' 8.39 啁啾反射镜2 198 wCMQPt)VS 8.40 啁啾反射镜3 199 z_;3H,z` 8.41 带保护层的铝膜层 200 =+5,B\~q@C 8.42 增加铝反射率膜 201 75!9FqMZ} 8.43 参考文献 202 4:3rc7_
1 9 多层膜 204 pN6%&@) = 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 DVZdClAL 9.2 内部透过率 204 s6*ilq1 9.3 内部透射率数据 205 os3 8u!3- 9.4 实例 206 ]e:/" 9.5 实例2 210 PW(\4Q\ 9.6 圆锥和带宽计算 212 + Y.1)i} 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 H?1xjY9sl 10 光学薄膜的颜色 216 yZ]:y-1 10.1 导言 216 D'<VYl"/ 10.2 色彩 216 #BVtL :x@ 10.3 主波长和纯度 220 Uk*IpP` 10.4 色相和纯度 221 +1JH 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 lv0nEj8F 10.6 色差 226 #$~ba%t9% 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 2N#$X'8 10.8 颜色渲染指数 234 ?rVy2! 10.9 色差计算 235 Z0!5d< 10.10 参考文献 236 h!@|RW&}qX 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 0X8t>#uF 11.1 短脉冲 238 Bm$"WbOq*R 11.2 群速度 239 :nHKl
11.3 群速度色散 241 ha@L94Lq 11.4 啁啾(chirped) 245 ^{$FI`P 11.5 光学薄膜—相变 245 Tl]e%A`| 11.6 群延迟和延迟色散 246 Ok5<TZ6t4k 11.7 色度色散 246 {U]H;~3 ? 11.8 色散补偿 249 ;rI@*An 11.9 空间光线偏移 256 ',3HlOJ: 11.10 参考文献 258 +i ?S 12 公差与误差 260 +[@z(N-h 12.1 蒙特卡罗模型 260 @[<nQZw: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 'AGto'Yy; 12.2.1 误差工具 267 [u@Jc, 12.2.2 灵敏度工具 271 qs\2Z@; 12.2.2.1 独立灵敏度 271 CHd9l]Rbe 12.2.2.2 灵敏度分布 275 {u{@jp 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 vE6mOM!_L 12.3 参考文献 276 +cJy._pi! 13 Runsheet 与Simulator 277 v$~QCtc 13.1 原理介绍 277 exh/CK4; 13.2 截止滤光片设计 277 #
?1Sm/5k` 14 光学常数提取 289 2M<R(W!& 14.1 介绍 289 o56` 14.2 电介质薄膜 289 eg<bi@C1| 14.3 n 和k 的提取工具 295 I&?Qq k 14.4 基底的参数提取 302 <99M@ cF 14.5 金属的参数提取 306 j.~!dh$mg 14.6 不正确的模型 306 R_]{2~J+ 14.7 参考文献 311 lPH%Do>K 15 反演工程 313 2 &/v] 15.1 随机性和系统性 313 H|ozDA 15.2 常见的系统性问题 314 f-6vLX\Vu 15.3 单层膜 314 1XG!$4DW 15.4 多层膜 314 ]A
FI\$qB\ 15.5 含义 319 h1 WT 15.6 反演工程实例 319 "gd=J_Yw 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 NW~z&8L 15.6.2 反演工程提取折射率 327 =/<LSeLxH 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 rG?>ltxB 16.1 光学性质的热致偏移 329 g&dPd7 16.2 应力工具 335 NC&DF |