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`{I,!to 内容简介 'N=' B<^;% Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8s8q`_.)( 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fh$U" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 [OG-ZcNu? k_V1x0sZ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ni@D7:h 目录 =Cs$0aA Preface 1 z1!ya#,$ 内容简介 2 &g,K5at 目录 i I>/`W 1 引言 1 KGi@H%NN 2 光学薄膜基础 2 2 T{PIJg3 2.1 一般规则 2 SfJ/(q 2.2 正交入射规则 3 <!X'- >i%q 2.3 斜入射规则 6 #CV(F$\1{ 2.4 精确计算 7 "+nURdicO 2.5 相干性 8 toTAWT D 2.6 参考文献 10 voQ, K9 3 Essential Macleod的快速预览 10 Sc Gmft3A 4 Essential Macleod的特点 32 !nVX .m9 4.1 容量和局限性 33 {KwLcSn 4.2 程序在哪里? 33 nS?HH6H 4.3 数据文件 35 k`)LO`)) 4.4 设计规则 35 U
YUIpe 4.5 材料数据库和资料库 37 Z+t?ah00 4.5.1材料损失 38 4)Pt]#Ti 4.5.1材料数据库和导入材料 39 eV9:AN }K= 4.5.2 材料库 41 l$m^{6IYc 4.5.3导出材料数据 43 w?M*n<)
O 4.6 常用单位 43 =q
xcM+OX1 4.7 插值和外推法 46 WS(@KN 4.8 材料数据的平滑 50 QH\*l~;B\ 4.9 更多光学常数模型 54 (!X:[Ah*$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 |w~zh6~ 4.11 撤销和重做 56 5tq$SF42X 4.12 设计文档 57
}f&7<E 4.10.1 公式 58 T>f-b3dk 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 l'16B^ 4.10.3 沉积密度 59 iT^lk'?{O 4.10.4 平行和楔形介质 60 PYz| d
4.10.5 渐变折射率和散射层 60 K&|zWpb 4.10.4 性能 61 w4L\@y3 4.10.5 保存设计和性能 64 SmR*b2U 4.10.6 默认设计 64 k}T~N.0 4.11 图表 64 0l 3RwWj 4.11.1 合并曲线图 67 >^InNJd 4.11.2 自适应绘制 68 |?8CV\D! 4.11.3 动态绘图 68 eHnC^W}|s 4.11.4 3D绘图 69 Wnf`Rf)1z 4.12 导入和导出 73 BMX x(W] 4.12.1 剪贴板 73 gu:..'V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 |um)vlN;9 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Ci*TX 4.13 背景 77 sL/Lw
WH 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 n<hwstk 4.15 生成Rugate 84 $^
>n@Q@&L 4.16 参考文献 91 xD1wHp!+ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 um8ZhXq 5.1 Jobs 92 nQ~q-=,L 5.2 创建一个新Job(工作) 93 H`io|~Q 5.3 输入材料 94 xq~=T:>/A 5.4 设计数据文件夹 95 / TJTu_# 5.5 默认设计 95 &P+cTN9) 6 细化和合成 97 `7
B
[< 6.1 优化介绍 97 v#/,,)m 6.2 细化 (Refinement) 98 ?1412Tq5 6.3 合成 (Synthesis) 100 ih YfWG| 6.4 目标和评价函数 101 3t_5Xacj 6.4.1 目标输入 102 /:USpuu 6.4.2 目标 103 1gm{.*G 6.4.3 特殊的评价函数 104 s[s^z<4G 6.5 层锁定和连接 104 pEaH^(I* 6.6 细化技术 104 5
+
Jy
6.6.1 单纯形 105 r}5GJ|p0 6.6.1.1 单纯形参数 106 e4`KnHsL 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 <'vM+Lk 6.6.2.1 Optimac参数 108 dkn_`j\v 6.6.3 模拟退火算法 109 eBN>|mE4N 6.6.3.1 模拟退火参数 109 >C&!#
3 6.6.4 共轭梯度 111 ,}|V'y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Q@j:b]Y9 6.6.5 拟牛顿法 112 #UI`G3w< 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 2'}2r ~6 6.6.6 针合成 113 4Sl^cKb$7 6.6.6.1 针合成参数 114 :m~lgb< 6.6.7 差分进化 114 r-0
7!A 6.6.8非局部细化 115 4{Ak| 6.6.8.1非局部细化参数 115 %FRkvqV* 6.7 我应该使用哪种技术? 116 AP~!YwLW 6.7.1 细化 116 J *B`C^i 6.7.2 合成 117 0y1t%C075 6.8 参考文献 117 u4nXK
<KL| 7 导纳图及其他工具 118 |JDJ{;o 7.1 简介 118 tvH)I px 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ]f c:CR 7.2.1 四分之一波长规则 119 FG(`&S+, 7.2.2 导纳图 120 97g-*K 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 @kK=|(OB' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 BA5= D>T- 7.5 斜入射导纳图 141 E:tUbWVp 7.6 对称周期 141 N1-LM9S 7.7 参考文献 142 hPH7(f|c{g 8 典型的镀膜实例 143 Eg:p_F*lr 8.1 单层抗反射薄膜 145 2#[Y/p 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 %2+]3h>g 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 LH8?0N[ 8.4 W-膜层 148 :({<"H)!' 8.5 V-膜层 149 th<]L<BP/ 8.6 V-膜层高折射基底 150 )}aF=% 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 -,tYfQ;: 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 :tgTYIF 8.9 四层抗反射薄膜 153 ][mc^eI0s| 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 {+EPE2X=C 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 93dotuF 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 |)_R
bqZ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 gdT_kb5HL8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 %!S 8.15十五层宽带抗反射膜 159 SrtmpQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 y{sA[ " 8.17 1/4波长堆栈 162 {?iqO? 8.18 陷波滤波器 163 buFtLPe 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 :6 fQE#(s& 8.20 褶皱 165 ,+RO 5n 8.21 消偏振分光器1 169 L_r &'B 8.22 消偏振分光器2 171 )-{~7@yqZ 8.23 消偏振立体分光器 172 S#9SAX [ 8.24 消偏振截止滤光片 173 6.jZy~ 8.25 立体偏振分束器1 174 O+$70 8.26 立方偏振分束器2 177 LA+MX0* 8.27 相位延迟器 178 gK( 4<PO' 8.28 红外截止器 179 dNobvK 8.29 21层长波带通滤波器 180 iQF}x&a< 8.30 49层长波带通滤波器 181 8iN As#s 8.31 55层短波带通滤波器 182 bij?q\ 8.32 47 红外截止器 183 &^H
"T6 8.33 宽带通滤波器 184 QFPx4F7(e 8.34 诱导透射滤波器 186
R'/wOE2 8.35 诱导透射滤波器2 188 WdAGZUp 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 o0L#39`'g 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 D2p6&HNT 8.35 增益平坦滤波器 193 ^IH1@ 8.38 啁啾反射镜 1 196 {p
0'Lc<3n 8.39 啁啾反射镜2 198 ~'MWtDe:Z8 8.40 啁啾反射镜3 199 C":\L>Ax 8.41 带保护层的铝膜层 200 D3{lyi|8 8.42 增加铝反射率膜 201 clw91yrQn 8.43 参考文献 202 Wwha?W> 9 多层膜 204 *F*X_O 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 -/%jeDKp 9.2 内部透过率 204 ([*t. 9.3 内部透射率数据 205 Ji[g@# 9.4 实例 206 zIFL?8!H9{ 9.5 实例2 210 ~P_kr'o 9.6 圆锥和带宽计算 212 ~PnpYd<2 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 PNgMLQI6 10 光学薄膜的颜色 216 \T9UbkR 10.1 导言 216 1,QZnF!.x 10.2 色彩 216 %Be[DLtE" 10.3 主波长和纯度 220 H>f{3S-% 10.4 色相和纯度 221 hhAC@EGG 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 U_'q- *W 10.6 色差 226 =7fh1XnW 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ZPao*2xz 10.8 颜色渲染指数 234 #\BI-zt 10.9 色差计算 235 }dJ ~Iy 10.10 参考文献 236 %n25Uq 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zI! R-Nb 11.1 短脉冲 238 }27Vh0v 11.2 群速度 239 H$amt^|zQ4 11.3 群速度色散 241 RCYbRR4y 11.4 啁啾(chirped) 245 B:4qW[U# 11.5 光学薄膜—相变 245 0t?<6-3`/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 9Fx z!-9m 11.7 色度色散 246 .oj" ru 11.8 色散补偿 249 KHz838C] 11.9 空间光线偏移 256 Xl6ZV,1=n7 11.10 参考文献 258 Os 2YZ<t 12 公差与误差 260 Q 02??W 12.1 蒙特卡罗模型 260 *.%)rm 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 G!Oq>7 12.2.1 误差工具 267 AdOAh y2H 12.2.2 灵敏度工具 271 H)T# R? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 KH>sCEt 12.2.2.2 灵敏度分布 275 |/=p 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Y~hd<8 ~ 12.3 参考文献 276 irb.F>(x 13 Runsheet 与Simulator 277 RK:sQWG 13.1 原理介绍 277 X1[R*a/p 13.2 截止滤光片设计 277 ioa_AG6B 14 光学常数提取 289 UN?T}p-
oF 14.1 介绍 289 w^E]N 14.2 电介质薄膜 289 PB<Sc>{U 14.3 n 和k 的提取工具 295 iH}rI'U. 14.4 基底的参数提取 302 ZX6=D>)u 14.5 金属的参数提取 306 7W firRM 14.6 不正确的模型 306 T>Rf?%o 14.7 参考文献 311 1qKxg 15 反演工程 313 sFM>gG 15.1 随机性和系统性 313 S%s|P=u 15.2 常见的系统性问题 314 'A(-MTd% 15.3 单层膜 314 |DPpp/ 15.4 多层膜 314 2]RH)W86; 15.5 含义 319 +6)kX4 15.6 反演工程实例 319 %%,hR'+| 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 x*"pDI0k) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 \v
P2B 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 $17
v, 16.1 光学性质的热致偏移 329
!QW 0 16.2 应力工具 335 X.AWs=:- 16.3 均匀性误差 339 }%ZG>LG5J 16.3.1 圆锥工具 339 iLd"tn' 16.3.2 波前问题 341 <_{4-Q>S3# 16.4 参考文献 343 JvWs/AG1 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Ysc|kxLb 17.1 引言 345 M3;v3
}z<- 17.2 操作数 345 l)rvh#D 18 如何在Function中编写脚本 351 q,,>:]f# 18.1 简介 351 - Zoo) 18.2 什么是脚本? 351 Hs`#{W{. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ))69a 18.4 基础 352 nh&J3b}B! 18.4.1 Classes(类别) 352 `_g?y) 18.4.2 对象 352 >-|90CSdSJ 18.4.3 信息(Messages) 352 U>B5LU9& 18.4.4 属性 352 &~JfDe9IS 18.4.5 方法 353 +yP[(b/ 18.4.6 变量声明 353 D7_Hu'y<o 18.5 创建对象 354 >&Ui* 18.5.1 创建对象函数 355 >?{iv1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
k E#_Pc 18.5.3 丢弃对象 356 ;'Vipj 18.5.4 总结 356 6=g]Y!o$ 18.6 脚本中的表格 357 Jyz$&jqyr' 18.6.1 方法1 357 E
^SM` 18.6.2 方法2 357 K0DXOVT\ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;]oXEq` 18.8 3D Plots in Scripts 359 HHIUl,P 18.9 注释 360 o
+QzQ+ Z 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Xm^h5jAr 18.11 一个更高级的脚本 362 $6&GAJe 18.12 <esc>键 364 K.iH 18.13 包含文件 365 mp+\! 18.14 脚本被优化调用 366 K,C$J
I 18.15 脚本中的对话框 368 qp~4KukL 18.15.1 介绍 368 g"dZB2`C 18.15.2 消息框-MsgBox 368 1l|A[G 18.15.3 输入框函数 370 JPT I6"/ 18.15.4 自定义对话框 371 <GT>s 18.15.5 对话框编辑器 371 .iP G /e 18.15.6 控制对话框 377 N9JgV,` 18.15.7 更高级的对话框 380 */5<L99v 18.16 Types语句 384 ofPF} 18.17 打开文件 385 X\3,NR, 18.18 Bags 387 kTiPZZI 18.13 进一步研究 388 =4M.QA@lI! 19 vStack 389 rMXOwkE 19.1 vStack基本原理 389 ej"o?1l@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 }KaCf,O 19.3 五棱镜 393 ReB(T7Vk= 19.4 光束距离 396 rz[uuY7 19.5 误差 399 f?>-yMR| 19.6 二向分色棱镜 399 @^:7UI_ 19.7 偏振泄漏 404 5;K-,"UQ 19.8 波前误差—相位 405 BudWbZ5>Ep 19.9 其它计算参数 405 JW% /^' 20 报表生成器 406 z"s%#/# 20.1 入门 406 An8%7xa7 20.2 指令(Instructions) 406 /:Z~"Q*r 20.3 页面布局指令 406 &8X
.!r`f 20.4 常见的参数图和三维图 407 ,2
g M- 20.5 表格中的常见参数 408 6Bq~\b^ 20.6 迭代指令 408 _r<zSH% 20.7 报表模版 408 h[-d1bKwS 20.8 开始设计一个报表模版 409 x8pbO[_| 21 一个新的project 413 1|l)gfcP 21.1 创建一个新Job 414 $xUzFLh=` 21.2 默认设计 415 dY4k9p8 21.3 薄膜设计 416 dIk8TJ 21.4 误差的灵敏度计算 420 dxkRk#mf: 21.5 显色指数计算 422 j2o1" 21.6 电场分布 424 p29yaM 后记 426 Hn#GS9d_? cz7CrK~5 对书籍感兴趣可以加微联系
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