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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-07-22
    摘要 i /O1vU#  
    3MNhH  
       &/b? I `  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 \_m\U.*  
    pFpQ\xc9$  
    任务 " #mXsp-ut  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ?noETHz)  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Sqp;/&Ji  
    Hs:4I  
    viW~'}^k7  
    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 %NF<bEV  
    连接建模技术:衍射光束分束器 ]`#xR *a  
      
    S5:"_U  
    m.\ >95!  
    通过配置助手和IFTA进行相位设计 `c qH}2s#  
    ^l]]qdNr  
    c,#~L7  
    将传输函数转化为结构 "E@NZ*"u  
    e3yorQ][  
    )bB"12Z|8  
    衍射光束分束器表面 O:oU`vE  
    1kB'sc3N!  
    {pcf;1^t  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM fP^W"y  
    P?Gd}mdX?m  
    ^%K1R;  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 ]Ks]B2Osz  
    dXA{+<!!  
    1M%{Uqsd-  
    设计与评估结果 ZI2K-z'e  
    • 相位函数设计 A&NC0K}G!  
    • 结构设计 SeRK7Q&_  
    • TEA 评估 <r_P? lZW  
    • FMM 评估 I2t-D1X  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) 1=9qAp;?o  
    OCbQB5k3  
    仅相位传输设计 7AGZu?1]M  
    38x[Ad4%  
    JEK%yMj  
    结构设计 N3XVT{ yo  
    d vg;  
    mr{k>Un\  
    使用TEA进行性能评估 ++J Bbuzj!  
    vxbH^b  
    |: 7EJkKZ  
    使用FMM进行性能评估 ])Q9=?Sd}  
    ?YkO+?}+  
    _g^K$+F'}  
    进一步的分析(优化后,容差分析) h@PMCmf_  
    3oppV_^JdT  
    uZqu xu.  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 O" X!S_R  
    YO.`l~ v  
    :|3"H&FWK  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 K^]?@oHO  
    }2iKi(io*  
    >+A1 V[  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 :w {M6mM>  
     
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