[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 7R\!'`]\M  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 UI~ENG  
CvpqQ7&k7  
任务 lY}mrb  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 >l$vu-k)~4  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 c ;3bX6RD*  
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A!v-[AI[  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 (PYUfiOf  
连接建模技术：衍射光束分束器 X$JO<@x  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 
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将传输函数转化为结构 K*J8(/WkD  
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FH8?W| G  
衍射光束分束器表面 RCt)qh+  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM xsRMF&8L  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 |PN-,f{-  
>Z^7=5
K"O  
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设计与评估结果： ~4}m'#!  
• 相位函数设计 (Cp:NS  
• 结构设计 pb%#`2"  
• TEA 评估 `n-e.{O((  
• FMM 评估 i/
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• 高度缩放检查（用于优化/容限） #py7emu  
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仅相位传输设计 Vm8;{Sq  
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结构设计 `Uk,5F5   
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使用TEA进行性能评估 "4"\tM(  
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使用FMM进行性能评估 D.Cm&  
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进一步的分析（优化后，容差分析） #Mbt%m  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 (kp}mSw  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 D3.sR\Hxf  
N#.IpY'7Ze  
P>N\q
  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 1rPeh{SZ