摘要 B~CdY}UTsj rIh"MQvi[ <M
y+!3\A 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
#`HY"-7m_ /e:kBjysJ 任务 5LF &C0v • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
<Jf[N= • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
QX`T-)T e r6b;v2!8 f@j )t%mh 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 /<R[X>]<F 连接建模技术:衍射光束分束器 Irc(5rD7
u_Wftb?9 *el~sor;S 通过配置助手和IFTA进行相位设计 *QGyF`Go{ 0Ym_l?]m[ nI
es}n: 将传输函数转化为结构 R<)^--n +%~/~1 tKX+eA] 衍射光束分束器表面 W>o>Y$H ${F4x "x ~Z>!SMXp< 衍射光束求解器 - TEA & FMM xU!eT'Y BN~gk~t_ ,J4rKGG 光栅级数 & 可编程光栅分析器 JW}O`H9 tW
-f_0a. @2;/-,4O 设计与评估结果:
,\RZ+kC>~ • 相位函数设计
fEB&)mM • 结构设计
Ncr*F^J4 • TEA 评估
u85dG7 • FMM 评估
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