摘要 =[gFaB_H nyG 5sWMpe t
Q>/ 1 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
;*20b@ %XXjQ 5p 任务 q+lCA#Sx • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Ti#x62X{ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
!VvM ~UsE"5 M%Q_;\?] 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 Jd33QL}Hj 连接建模技术：衍射光束分束器 $^#q0Y x 
+ ^4HCyW ：
4}<[4]f?| • 相位函数设计
,u.A[{@py • 结构设计
P0- K/_g • TEA 评估
hOm0ND?;1 • FMM 评估
8o Jp_sw • 高度缩放检查（用于优化/容限）
QU@CPME /J&_ZDNV~ 仅相位传输设计 rX|{nb k_ijVfI9 x 0q `Uc 结构设计 0-Wv$o[ j<A; i 0}$R4<"{Y> 使用TEA进行性能评估 :2;c@ uj XC,by&nY<y -qB{TA-.\ 使用FMM进行性能评估 z*/}rk4i F\+!\b*lP ER<Z!*2 进一步的分析（优化后，容差分析） sTECNY=l 
9:*a9xT,
