摘要 7R\!'`]\M Tb-`0^y&X1 =goZI6 7 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
UI~ENG CvpqQ7&k7 任务 lY}mrb • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
>l$vu-k)~4 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
c ;3bX6RD* D#%J|| A!v-[AI[ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 (PYUfiOf 连接建模技术:衍射光束分束器 X$JO<@x
,8(%J3J syh0E=If_ 通过配置助手和IFTA进行相位设计 z(<
E % ^_<>o[qE v)JQb-< 将传输函数转化为结构 K*J8(/WkD ,8uu,,c FH8?W|
G 衍射光束分束器表面 RCt)qh+ QnxkD)f*0 [Hdk=p 衍射光束求解器 - TEA & FMM xsRMF&8L o,) p *glO -b@E@uAX/ 光栅级数 & 可编程光栅分析器 |PN-,f{ - >Z^7=5K"O yh_s(>sh 设计与评估结果:
~4}m'#! • 相位函数设计
(Cp:NS • 结构设计
pb%#`2" • TEA 评估
`n-e.{O(( • FMM 评估
i/xPO • 高度缩放检查(用于优化/容限)
#py7emu gx[#@( 仅相位传输设计 Vm8;{S q {(wV>Oc>Jw f.jAJ; N> 结构设计 `Uk,5F5 B^Ql[m&5+ }VR&*UJE 使用TEA进行性能评估 "4"\tM( B4R,[WE" },a|WL3^ 使用FMM进行性能评估 D .Cm& !xo@i XL cb%w,yXw 进一步的分析(优化后,容差分析) #Mbt%m
8zj09T[ _;01/V"q6 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 ( kp}mSw
8KWTd ]^
O<WD 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 D3.sR\Hxf N#.IpY'7Ze P>N\q 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 1rPeh{SZ