摘要 E e]-qN*8 ;wVwX6:ZKr )jC%a6G! 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
f X)# =c|5 X(C$@N 任务 I l.K"ll • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
Gc!x|V;T • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
8X0z~ & 'n|5ZhXPB ^t"'rD-I 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 \Roz$t-R|f 连接建模技术：衍射光束分束器 QM]YJr3r E 
MfQ!6z E ：
'7@R7w!E4H • 相位函数设计
kwA$Z!Rn • 结构设计
'=6\v! • TEA 评估
^I)N. 5 • FMM 评估
Q^ (b)>?r; • 高度缩放检查（用于优化/容限）
((I%' +]50D xflA 仅相位传输设计 ,: ->ErP `KQvJjA6 \G3rX9xG 结构设计 "T"h)L< 'eX ' 9 E6R0D} 使用TEA进行性能评估 +U.I( 83F "Yca%: w\brVnt 使用FMM进行性能评估 d: {O\ ujucZ9}y d \j)E 5b+ 进一步的分析（优化后，容差分析） l$'wD hN* 
6(e>P)
