摘要 B~CdY}UTsj rIh"MQvi[ <M
y+!3\A 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
#`HY"-7m_ /e :kBjysJ 任务 5LF &C0v • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
<Jf[N= • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
QX`T-)T e r6b;v2!8 f@j )t%mh 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 /<R[X>]<F 连接建模技术：衍射光束分束器 Irc(5rD7 
u_Wftb?9 ：
,\RZ+kC>~ • 相位函数设计
fEB&)mM • 结构设计
Ncr*F^J4 • TEA 评估
u85 dG7 • FMM 评估
$`&zI z • 高度缩放检查（用于优化/容限）
a;h.I}*] K(3 _1*e 仅相位传输设计 | zyO; (3Dz'X 6%B) 结构设计 }{S+C[:_ Fz {T; mHF? t.y 使用TEA进行性能评估 eUVhNg V^%P}RFMc od-yVE& 使用FMM进行性能评估 fc<~R \(&UDG$ f
0r?cZ 进一步的分析（优化后，容差分析） @#2KmM~I 
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