摘要 FL8g5I 'yV?*a IBQ@{QB 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
M/q E2L[y )r[&RGz6 任务 #fJ] o_ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
Hewd4k • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
Ndo a4L)$ K{ \;2M f{"8g"[[)( 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 lj{VL}R 连接建模技术:衍射光束分束器 p/2jh&
p_UlK8rb j:}D Bk 通过配置助手和IFTA进行相位设计 Iw<j T|y) 6m VuyI K]U;?h&CZc 将传输函数转化为结构 l3Lyea: uP<0WCN W`"uu.~f 衍射光束分束器表面 A<6%r7&B' 0<8XI>.3D r}0\}~'?c 衍射光束求解器 - TEA & FMM M[ z)6. ]$p{I)d& r1<F 光栅级数 & 可编程光栅分析器 w~#nYM=fP! K9vIm4::d$ Qj3a_p$)P 设计与评估结果:
r?CI)Y; • 相位函数设计
*26334B.R • 结构设计
})w*m • TEA 评估
oW^*l#v • FMM 评估
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