摘要 & @ U) xf|vz|J?y YiGSFg 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
o=)[ "V ;N?raz2mEi 任务 Rm&4Pku • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
w l#jSj%pd • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
!;%+1j?d k [eWhdSw 7=`_UqCV 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 0J z|BE3Y 连接建模技术：衍射光束分束器 v/G)E_ 
^ 3O `8o ：
["BD,mB • 相位函数设计
fqm-?vy} • 结构设计
DTN)#G CtF • TEA 评估
m
?#WQf • FMM 评估
(X/dP ~ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
V]W-**j< /#Lm)-%G 仅相位传输设计 5c 6 9M5 %d ^ =$Q $TY 1'#1U; 结构设计 M-zqD8D FB }8 |'!9mvt= 使用TEA进行性能评估 Q=?YY-*$ <o: O<p@6 /c!@ H(^) 使用FMM进行性能评估 JLh{>_Rr 2'-o'z< Jl-:@ [; 进一步的分析（优化后，容差分析） cIQ e^C
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