摘要 #u<n . +{p S2I}d `oGL== 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
kF29~ "3X~BdH&J 任务 ;dE'# Kb • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
M7g 6m • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
a!H t81gj wDz}32wB %Y*]eLT> 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 eg
Zb)pP 连接建模技术：衍射光束分束器 f{eMh47 NC 
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Q#h ：
Mi B}10 • 相位函数设计
Tq*K
=^ • 结构设计
c6_i~0W56 • TEA 评估
2{fPQQ ;# • FMM 评估
~s4o1^6L • 高度缩放检查（用于优化/容限）
}10ZPaHjl+ nYbI =_- 仅相位传输设计 W2W4w ;;? Zd G~N$bF^R) 结构设计 4J${gcju /<-@8CC< X [r\ Qa 使用TEA进行性能评估 na,i(m?l z6>Rv9f [+4/M3J% 使用FMM进行性能评估 >4&s7][Q| &h_do8R 6< O|,7=_ 进一步的分析（优化后，容差分析） fA{t\ 
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