摘要 /!;v$es
S 0&CXR=U5 y4I Qa.F 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
oqbz!dM(Z ?D)$O CS 任务 :IJ<Mmb • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
W4k$m 2 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
3>MILEY ^ xb0,dZb .<fdX()e, 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 .GNyA DQp 连接建模技术：衍射光束分束器 b$*2bSdv0< 
-K8F$\W ：
G'w!Aw s • 相位函数设计
ZPb30 M0 • 结构设计
}KIS_krs • TEA 评估
vp!F6ZwO • FMM 评估
GGcODjY> • 高度缩放检查（用于优化/容限）
SRk!HuXh !'BXc%`x[ 仅相位传输设计 f$-n %7 NR
k~ F |5Au>t 结构设计 LJ@r+|> Qf ~$9?z >s"/uo 使用TEA进行性能评估 zG 9D
Ph lfC]!=2%~8 * O?Yp%5NH 使用FMM进行性能评估 CX\XaM)l A b j7 a L+>XN 进一步的分析（优化后，容差分析） 3^ y<Db 
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