摘要 kd;'}x=5yP [U_[</L7 4R +P 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
XKq@]=\F 3:|-#F*k{ 任务 * Zd_
HJi • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
K!b8= K` • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
DMkhbo&+ bZ# X 9fT >IR$e=5$ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 B4O6> ' 连接建模技术：衍射光束分束器 Q
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,#aS/+;[) • 相位函数设计
Bn-J_-%M • 结构设计
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5 • TEA 评估
d_iY&-gq/ • FMM 评估
SOH%Q_ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
l.7d$8'\ pb$fb 仅相位传输设计 n {=7 yK _[1^s$ ycjJbL(. 结构设计 S ' ?fJ. C<t RU5| Yzd2G,kZ= 使用TEA进行性能评估 ou;qO
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=] &A"e, h(^ 使用FMM进行性能评估 0IFlEe[># l7 Y8b` t {=i=K 3 进一步的分析（优化后，容差分析） O3+)qb!X 
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