摘要 NRM=0-16u$ \C
)S3!h t R,&|?0 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
.^fV m ._uXK[c7P 任务 W?n)IBj8 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
'9+JaB • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
9Dq^x&z( f8T6(cA g8JO/s5xV 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 SpM|b5c5 连接建模技术：衍射光束分束器 {!lC$ SlJ 
_NfdJ=[Xh ：
e
ej: • 相位函数设计
ZU=om Rh5
• 结构设计
4jOq.j • TEA 评估
b6`_;Z • FMM 评估
gQ < >S • 高度缩放检查（用于优化/容限）
|6cz r kqebU!0- 仅相位传输设计 - x~4@~ {D c{e5K <}\!FuC 结构设计 6a w1 FZt a w$XqxI/& 使用TEA进行性能评估 -`I&hzl6E nY>UYSv ` XvuyH 使用FMM进行性能评估 .T2P%Jn. S%^*h{9u" U<YP@?w 进一步的分析（优化后，容差分析） s=Cu-.~L 
oMb&a0-7u
