[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 fnG&29x  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 IR?ICXmtx  
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任务 #]oVVf_  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 Z+=WgEu1  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 OO]~\j
 
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A{Z=[]r1`E  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 B8'" ^a^&-  
连接建模技术：衍射光束分束器 :z56!qU  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 -
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将传输函数转化为结构 gXZ.je)NM  
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衍射光束分束器表面 fKf5i@CvB@  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM j~(rG^T  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 qgvg MWj  
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设计与评估结果： xI
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• 相位函数设计 `=RJ8u  
• 结构设计 7JD jJQy  
• TEA 评估 ~EG`[cv  
• FMM 评估 I#zrz3WU  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） fD  
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仅相位传输设计 -~~"}u  
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结构设计 p [4/Nq,c  
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使用TEA进行性能评估 F=U3o=-:  
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使用FMM进行性能评估 ~Jrtm7  
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进一步的分析（优化后，容差分析） (|I:
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, \|S BS  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 IqJ7'X  
fpJM)HU  
NK2Kw{c"iI  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 m_\w)  
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o@mZ6!ax3  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 "5"6mw?