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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-07-22
    摘要 ="P&!lu  
    Mi047-% (  
       +u;RFY^  
    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 . H9a  
    Y@limkN:  
    任务 Zqj EVVB  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 Ir6g"kwCKq  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 Xd5uF/w  
    ='Yg^:n  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 `Hd~H  
    连接建模技术:衍射光束分束器 m.ejGm?  
      
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    通过配置助手和IFTA进行相位设计 PG@6*E  
    3c[]P2Bh  
    ?63ep:QEk  
    将传输函数转化为结构 :(#5%6F  
    Un Ocw  
    j> dL:V&`  
    衍射光束分束器表面 t>h:s3c  
    Y'76!Y  
    #7=- zda5  
    衍射光束求解器 - TEA & FMM 3`Gb ;D  
    <v3pI!)x  
    PLRMW 2  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 nJY3 1(p  
    J*t_r-z  
    rY295Q  
    设计与评估结果 UeU`U  
    • 相位函数设计 "mc ]^ O  
    • 结构设计 lsKQZ@LN`  
    • TEA 评估 ,M=s3D8C  
    • FMM 评估 @bZ,)R  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) 6Cgc-KNbk  
    C sCH :>  
    仅相位传输设计 uLSuY}K0  
    ftD(ed  
    5=/j  
    结构设计 <aQ5chf7  
     1t }  
    *vOk21z77d  
    使用TEA进行性能评估 f7:}t+d  
    gl 27&'?E*  
    ^xQPj6P}  
    使用FMM进行性能评估 kY{;(b3Q  
    GezMqt;2  
    AA0\C_W0p  
    进一步的分析(优化后,容差分析) #~[{*[B+  
    5A+r^xN  
    r0q?e`nsA  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 s&1}^'|  
    fT{%zJU  
    Y|ErVf4  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 vsJM[$RF  
    rUZ09>nDy  
    P DwBSj  
    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 lr]C'dD  
     
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