摘要 ="P&!lu M i047-% ( +u;RFY^ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
. H9a Y@limkN: 任务 Zqj EVVB • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
Ir6g"kwCKq • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
Xd5uF/w ='Yg^:n Vr hd\ 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 `Hd~H 连接建模技术:衍射光束分束器 m.ejGm?
v)<|@TD) WT jy"p* 通过配置助手和IFTA进行相位设计 PG@6*E 3c[]P2Bh ?63ep:QEk 将传输函数转化为结构 :(#5%6F UnOcw j> dL:V&` 衍射光束分束器表面 t>h:s3c Y'76! Y #7=- zda5 衍射光束求解器 - TEA & FMM 3`Gb;D <v3pI!)x PLRMW2 光栅级数 & 可编程光栅分析器 nJY3 1(p J*t_r-z rY295Q 设计与评估结果:
UeU`U • 相位函数设计
"mc ]^O • 结构设计
lsKQZ@LN` • TEA 评估
,M=s3D8C • FMM 评估
@bZ,)R • 高度缩放检查(用于优化/容限)
6Cgc-KNbk C sCH :> 仅相位传输设计 uLSuY}K0 ftD(ed 5=/j 结构设计 <aQ5chf7 1t} *vOk21z77d 使用TEA进行性能评估 f7:}t+d gl 27&'?E* ^xQPj6P} 使用FMM进行性能评估 kY{;(b3Q GezMqt;2 AA0\C_W0p 进一步的分析(优化后,容差分析) #~[{*[B+
5A+r^xN r0q?e`nsA 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 s&1}^'| fT{%zJU Y|E rVf4 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 vsJM[$RF rUZ09>nDy P DwBSj 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 lr ]C'dD