摘要 o /)]z pbl;n| ,_F1g<^@u 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
5) AMl) mXAX%M U 任务 4pduzO'I • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
?FA} ;?v • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
"6FZX~]s! SdeKRZ{o @9~6+BZOq 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ;mjk`6p 连接建模技术：衍射光束分束器 d3St Z~&r! 
}[ld=9p( ：
.D!0$W mOZ • 相位函数设计
V|13%aE_v • 结构设计
nm`[\3R • TEA 评估
?\"GT] 5D • FMM 评估
@n"7L2wY • 高度缩放检查（用于优化/容限）
k Pi%RvuQ .!e):&(8 仅相位传输设计 iyKAw
Ye% e! Tty_P, 结构设计 DvB!- |ek Fku~'30 %UT5KYd!=N 使用TEA进行性能评估 bA!n; /99S<U2ej m!Cvd9X= 使用FMM进行性能评估 $P&{DOiKS Y3=5J\d!a X'Q?Mh 进一步的分析（优化后，容差分析） R/ix ,GC 
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