[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 5Bd(>'ig_  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 /| f[us-w  
$nFAu}%C  
任务 `e*61k5  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 $`Rxn*}V4#  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 7sguGwg)_  
N?^_=KE@  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 BK*UR+,  
连接建模技术：衍射光束分束器 ]-EN/V  
   {r{>?)O  
通过配置助手和IFTA进行相位设计 Loc8eToZ  
~*kK4]lP  
+{0=<2(EC  
将传输函数转化为结构 Fva]*5  
HqRCjD  
[k~C+FI  
衍射光束分束器表面 XC}1_VWs  
Xr2 Wa  
`OLB';D  
衍射光束求解器 - TEA & FMM fr]Hc+7  
`r9^:
TMN  
/gX%ABmS  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 :W%4*-FP  
`=v@i9cTZ  
iW-t}}Z>B  
设计与评估结果： ex:3ua$N  
• 相位函数设计 |QMT A5  
• 结构设计 :^.u-bHI  
• TEA 评估 d>~`j8,B  
• FMM 评估 T#/11M$uQ  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） r.Lx%LZ\^  
0O^U{#*$I  
仅相位传输设计
XC2Q*Z  
|/t K-c6J  
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结构设计 Jb6&  
E~qK&7+  
[@zkv)D6  
使用TEA进行性能评估 {YfYIt=.  
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|:}L<9Sq  
使用FMM进行性能评估 -/1

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进一步的分析（优化后，容差分析） =$[W,+X6f  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 zcZ^s v>  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 td%Y4-+-  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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