摘要 CKw-HgXG =B&|\2`{) ^ C gg1e1 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
%6ckau1_; )St0}?I~ 任务 'm0WPS/6E • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
XT0-"-q • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
RXRbW %b :GvC #2 p & zn|), 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 AA-$;s 连接建模技术：衍射光束分束器 4'faE="1)S 
Vy& X1lG: ：
o. $ 48h( • 相位函数设计
\m`IgP* • 结构设计
TT/=0 ^" • TEA 评估
# h.N#{9 • FMM 评估
`&I6=,YLp • 高度缩放检查（用于优化/容限）
2NFk#_9e~ b $w66q8 仅相位传输设计 28JVW3&) 9#H0|zL H:b"Vd"x9 结构设计 xpZ@DK; ^uo,LTq+ %2RXrH2&H 使用TEA进行性能评估 .0nT*LF 9u ~C?w [\F:NLjiUy 使用FMM进行性能评估 [voc_o7AI dLQp"vs $ Zn1((J7 进一步的分析（优化后，容差分析） ^PdD-tY< 
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