[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 &3xda1H  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 cS2]?zI  
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任务 Fu\#:+5\  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 tA'5ufj*:  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 Y=O-^fL  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 J4z&J SY  
连接建模技术：衍射光束分束器 s8qpK; O  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 eb6y-TwY  
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将传输函数转化为结构 E9t8SclV  
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衍射光束分束器表面 :Z_abKt  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM Goy[P2m  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 hhI*2|i"L  
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设计与评估结果： |lu@rN  
• 相位函数设计 aD6!x3c/  
• 结构设计 PGVp1TQ  
• TEA 评估
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• FMM 评估 *"6A>:rQs  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） 5LU7}v~/  
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仅相位传输设计 sEZ2DnDI  
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结构设计 -lq`EB+  
}g|9P SbJ  
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使用TEA进行性能评估 ycvgF6Me<  
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使用FMM进行性能评估 8= 82x
 
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进一步的分析（优化后，容差分析） P=y1qqC  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 "+ k}#<P4\  
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YG*}F|1  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 RQ#9[6w!v  
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Eq=JmO'gHs  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 U^K8^an$