摘要 0zTv' L Ch.T} % RV$+g.4 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
Asn0&Ys4 5PPy+36<~ 任务 "w'YZO ]> • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
%&] }P;& • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
W8P**ze4) G/ 8 xS= .y0](
h 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 6 szkE{-/? 连接建模技术：衍射光束分束器 52["+1g\ 
xBZ9|2Y s ：
pNqf2CnnT • 相位函数设计
YT5>pM-% • 结构设计
Asl H
V@K • TEA 评估
B@;)$1-UT • FMM 评估
-PnC^r0L$ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
E?XCL8NC , Mhe:^3 仅相位传输设计 )a^Yor)o" S[a5k;8GL g& "( - : 结构设计 (v`;ym 0 `!Q-G7 }m9LyT=~$ 使用TEA进行性能评估 R2$ U K AIm$in`P /SXz_ e 使用FMM进行性能评估 nFfCw%T? Y F -w=Y6 j&/.[?K 进一步的分析（优化后，容差分析） aVP|: OAj 
eCp| QSXE
