摘要 pH&Q]u; O ,nO:Pxn| h 9V9.' 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
r>lC(x\B MmOGt!}9A 任务 [MM 11K • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
_tE$a3` • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
Xg#g`m%(M yc,Qz.+g o5+N_5OE}E 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 htg+V-, 连接建模技术：衍射光束分束器 45` Gv 
l7 D/ ]& ：
DC`6g #*< • 相位函数设计
Ov%9S/d • 结构设计
nM8aC&Rd\ • TEA 评估
lqPRUkin • FMM 评估
zqYfgV • 高度缩放检查（用于优化/容限）
?|^1-5l3 {Z;W |w1t 仅相位传输设计 b]6;:Q!d {U=za1Ga ?"AcK" v 结构设计 D8W:mAGEu 4BuS?
#_ xPqpNs-, 使用TEA进行性能评估 `(.ue8T 7w )#[^ zE.4e&m%Z? 使用FMM进行性能评估 %{/0K<M Uk ?V7?& 'ESy>wA{y< 进一步的分析（优化后，容差分析） wr*A %: 
cJ:BEe
