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    [技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    摘要 WM7/|.HQ  
    QiL  
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    非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大,元件的特征尺寸与光的波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 +VFwYdW,  
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    任务 jCa;g{#@  
    • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于结构设计部分。 ?Gu>!7  
    • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。 - C]a2  
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    模拟与设置:工具简介与整体流程概览 nlnJJM&J $  
    连接建模技术:衍射光束分束器 'Z9F0l"Nr  
      
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    通过配置助手和IFTA进行相位设计 U Bg_b?k  
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    CR=MjmH  
    将传输函数转化为结构 \C.@ @4{  
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    衍射光束分束器表面 {NDe9V5  
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    衍射光束求解器 - TEA & FMM Wuz~$SU  
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    pdu  
    光栅级数 & 可编程光栅分析器 <us{4 %  
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    设计与评估结果 y?hW#l~#X  
    • 相位函数设计 %tLq&tyeY  
    • 结构设计 Sa~C#[V  
    • TEA 评估 iB-s*b<`~  
    • FMM 评估 (iP,YKG1?  
    • 高度缩放检查(用于优化/容限) b>EUa> h  
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    仅相位传输设计 &o.SmkJI  
    R MXj)~4.  
    B:.rp.1   
    结构设计 q"oNB-bz  
    VV0$L=mo  
    :Yqa[._AF  
    使用TEA进行性能评估 7L"/4w  
    e:<> Yq+  
    J>35q'nN]F  
    使用FMM进行性能评估 xcA:Q`c.{  
    W aU_Z/{0  
    >d\I*"C+d  
    进一步的分析(优化后,容差分析) ,,gYU_V  
    8EA?'~"  
    IF1}}[Ht  
    进一步优化 - 调整设计#1的零阶 H2vEFnV  
    ^Du_e(TiyK  
    H_^c K  
    进一步优化 - 调整设计#2的零阶 g~b'}^J  
    @dNbL}qQ  
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    进一步优化 - 调整设计#3的零阶 1,,-R*x  
     
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