摘要 WM7/|.HQ Qi L |1 6v4 R 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大,元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此,通常使用的傍轴建模方法变得不准确,需要严格的技术。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光学元件(DOE)的初步设计,并且之后使用傅里叶模式方法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)进行严格的性能评估,包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
+VFwYdW, qf {B 任务 jCa;g{#@ • 使用傍轴近似(TEA)进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计,用于
结构设计部分。
?Gu>!7 • 使用严格分析(FMM/RCWA)对性能进行分析和进一步
优化,以提高均匀性并评估零阶的影响。
-C]a2 TniKH(w/ J<O_N~$$* 模拟与设置:工具简介与整体流程概览 nlnJJM&J$ 连接建模技术:衍射光束分束器 'Z9F0l"Nr
f.CI.aozW $S ("-3 通过配置助手和IFTA进行相位设计 U Bg_b?k ^@> Qiy CR=MjmH 将传输函数转化为结构 \C.@ @4{ q{(&:~M HK.J/Zr 衍射光束分束器表面 {NDe9V5 I(S6DkU md
s\~l73 衍射光束求解器 - TEA & FMM Wuz~$SU DgP%Q pdu 光栅级数 & 可编程光栅分析器 <us{4% uwzT? C A6 T`;M!-)2 设计与评估结果:
y?hW#l~#X • 相位函数设计
%tLq&tyeY • 结构设计
Sa~C#[V • TEA 评估
iB-s*b<`~ • FMM 评估
(iP,YKG1? • 高度缩放检查(用于优化/容限)
b>EUa> h '& :"/4@) 仅相位传输设计 &o.SmkJI RMXj)~4. B:.rp.1 结构设计 q"oNB-bz VV0$L=mo :Yqa[._AF 使用TEA进行性能评估 7L"/4w e:<>
Yq+ J>35q'nN]F 使用FMM进行性能评估 xcA:Q`c.{ W
aU_Z/{0 >d\I*"C+d 进一步的分析(优化后,容差分析) ,,gYU_V
8EA?'~" IF1}}[Ht 进一步优化 - 调整设计#1的零阶 H2vEFn V ^Du_e(TiyK H_^c K 进一步优化 - 调整设计#2的零阶 g~b'}^J @dNbL}qQ 'iK0Wr 进一步优化 - 调整设计#3的零阶 1,,-R*x