摘要 4jVd F}B2nL& zvv/|z2(r 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
>v 1.Gm $/E{3aT@F2 任务 Pn ?gB}l • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
XWB# 7;,R • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
`0 u)/s$ A`I1G9s 1l.HQ IS 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ++|e
z{ 连接建模技术：衍射光束分束器 83 )m# 
|k: FNu]C ：
iW[%|ddk • 相位函数设计
fz+dOIU3\L • 结构设计
^jk -GRD* • TEA 评估
QC1\Sn / • FMM 评估
7v`~;}5 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
e,*@+E\4 Jg6@)<n 仅相位传输设计 -_>E8PhM z
E\~Oa; cfc=a 结构设计 X09i +/ICK NU 3s^ 8\( iu`B8yI 使用TEA进行性能评估 CI|#,^ w!Ii 85:mh\@-G 使用FMM进行性能评估 ,,h>_IA .6iJ:A6T X/D%
cQ6 进一步的分析（优化后，容差分析） {YIVi:4q 
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