摘要 #&1Y!kbdd id-VoHd K {tE/Jv $ 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
p 0.?R (jD..qMs# 任务 /p
[l(H • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
."Yub];H • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
@Y>3 -,o,S >EMgP1 I`%=&l[v_5 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 n;"4`6L~ 连接建模技术：衍射光束分束器 L!L/QG|wdf 
UZdE ^Q[ ：
Ut-6!kAm • 相位函数设计
2al~ ` • 结构设计
BH0rT}) • TEA 评估
U8-9^}DBA • FMM 评估
l1cBY{3QD • 高度缩放检查（用于优化/容限）
Wsz='@XvB U>;itHW/ 仅相位传输设计 !E_uQ?/w]Z l``1^&K H>XbqIkL@ 结构设计 YLd
5 /&j4I lT %,,h )9 使用TEA进行性能评估 na']{a 1K ;oFaDTX] ga^<_;5< 使用FMM进行性能评估 0]oQ08 a`pY&xq:: ^z&xy41#B 进一步的分析（优化后，容差分析） z3*G(, 
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