摘要 _|`~CLE[ \EF^Ag >[;+QVr; 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
?4Z`^uy ?zW 4|0 任务 ~;nh|v/e • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
[F4] pR( • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
/1ZRjf^ <&:OSd:% s Wk92x _l 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 zKB$n. H 连接建模技术：衍射光束分束器 sJ[I< 
5 s3!{zT{ ：
yf3 c- p • 相位函数设计
7]se!k, • 结构设计
Fq\vFt|m< • TEA 评估
F
uYjrzmx • FMM 评估
a=n* }. • 高度缩放检查（用于优化/容限）
)5n*4 A /dGpac 仅相位传输设计 LsB|}_j7 GH ] c u 7 s- 结构设计 |6@s6]%X} PM ]|S` w)}' {]P"c 使用TEA进行性能评估 BM aw]D Egy#_ RT{ JmlMfMpXMs 使用FMM进行性能评估 r"HQ>Wn WBc ,/lgZ hb@,fgo !Q 进一步的分析（优化后，容差分析） f_\,H|zco) 
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