摘要 >I&5j/&}+ g 7 W" 7O-x<P; 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
FQ5U$x. [P
Z>5 b;8 任务 E0 9 :E • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
fmDCP kj • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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7E~; xn; N5b!.B x-w 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 OYTkV}tG 连接建模技术：衍射光束分束器 )|=j`jCC 
&FN.:_E ：
Trz@~d/[,n • 相位函数设计
+*/Zu`kzX • 结构设计
#fn)k1 • TEA 评估
<k'h:KB?` • FMM 评估
PP33i@G • 高度缩放检查（用于优化/容限）
R|87%&6'] jkF^-Up. 仅相位传输设计 SbrecZ :e miQ ^ Q ? 结构设计 dn$!& Gm^U;u}=f |~mOfuQ b
使用TEA进行性能评估 >$/>#e~ N] =q|D ,w:U#r~s" 使用FMM进行性能评估 XW)lDiJl 1JG'%8}#8 ['tY4$L( 进一步的分析（优化后，容差分析） uGK.\ PB$ 
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