[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 eCR
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。
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建模任务 
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模拟&设置：单平台互操作性 ,9d]-CuP;  
建模技术的单平台互操作性 uvJHkAi  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 6)0.q|Q  
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 平面波光源 -a@e28Y  
 微透镜阵列 @@^iN~uf  
 彩色滤光片(吸收介质) fQC{LcS  
 通过基底传播 AB\Ya4O"9  
 探测 q++\<
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连接建模技术：微透镜 $%cHplQz5  
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连接建模技术：彩色滤光片 VO eVS&}  
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连接建模技术：可编程介质 @%x2d1FS  
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连接建模技术：自由空间传播 mj$Ucql  
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连接建模技术：堆栈 'I/_vqp@  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 sw}O g`U  
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 微透镜阵列 B%uY/Mwz$  
 彩色滤光片(吸收介质) /a^ R$RHl'  
 通过基底传播 HdxP:s.T  
 探测 'o}[9ZBjn  
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元件内场分析器：FMM B2j1GJEO  
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模拟结果 >-N(o2j3  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) zsJ# CDm  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) !5lV#w!vb  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) A`Dx]y  
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3D仿真与结果比较 A_9^S!  
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3D仿真与结果比较 d)vP9vXy  
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