[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 h]wahExYP  
{XT3M{`rWL  
9~bl  
Q\pTyNAYn  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 V Ae@P  
DAZzc :1Aj  
建模任务 RoV^sbWFt  
v8 Q/DJ~  
k<1BE^[V  
V'kCd4  
模拟&设置：单平台互操作性 8VbHZ9Q  
建模技术的单平台互操作性 :xn/9y+s  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 aR3R,6ec  
I9sx*'  
2E V M*^A  
S,9}p1  
 平面波光源 LaI(  
 微透镜阵列 dQ&S&SW  
 彩色滤光片(吸收介质) c4]/{!4 Q  
 通过基底传播 4 1w*<{Lk  
 探测 9ghZLQ  
wv.FL$f[@  
连接建模技术：微透镜 !1i(6?~#4  
f.V
1  
>(v%"04|e  
']nB_x7  
G#V}9l
8Q  
连接建模技术：彩色滤光片 4'&j<Ah[#  
]_cBd)3P}  
'ZyHp=RN)  
x"hZOgFZ  
连接建模技术：可编程介质 Gk'j<a  
0((3q'[ <  
"qL4D4  
4nC`DJ;V  
连接建模技术：自由空间传播 (
K5w0  
t;[L-|^  
q3+G  
nZ;h&N-_-  
连接建模技术：堆栈 ZTCzD8  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 #[.vfG  
l `D>h2]  
W$&kOdD!$  
bFivHms  
 微透镜阵列 w28!Yj1Q  
 彩色滤光片(吸收介质) 5O.dRp7dJ  
 通过基底传播 Ql1HaC/5)-  
 探测
E)eRi"a46  
<+MNv#1:w  
元件内场分析器：FMM wzX 1!?  
Qt+|s&HGt  
:HSqa9>wa  
T[mo PD5  
模拟结果 PJC[#>}  
V^O dTM  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) # 2As-9  
.#"O VI]#  
#;Yn8'a~  
K6#9HF'2I  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 5):2;hk  
I }AO_rtb  
x+j5vzhG)  
R[eQ}7;+  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) \3P.GS{l  
Vp =  
<8UqV.&  
ld~8g,  
3D仿真与结果比较 :e-&,K  
eySV -f{  
Dq/ _#&S  
K`!q1g`  
3D仿真与结果比较 >|<8QomD  
R} nY8zE