[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 D.?gV_  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ! ZEKvW  
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建模任务 Z/x~:u_  
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模拟&设置：单平台互操作性 WyP1"e^9  
建模技术的单平台互操作性 , utFCZW  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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 平面波光源 ^&Bye?`5  
 微透镜阵列 %~~QXH\  
 彩色滤光片(吸收介质) P;34Rd  
 通过基底传播 gK /K Z8  
 探测 7+"X^$  
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连接建模技术：微透镜 `m5iZxhw  
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连接建模技术：彩色滤光片 6C:Lq%}  
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连接建模技术：可编程介质 vjpe'zx  
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连接建模技术：自由空间传播 KGIz)/eSg  
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连接建模技术：堆栈 deNU[  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 0*q:p`OLw*  
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 微透镜阵列 W6pS.}  
 彩色滤光片(吸收介质) aD4ln]sFxG  
 通过基底传播 SNQ+ XtoO  
 探测 %UmE=V  
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元件内场分析器：FMM }V 1sY^C  
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模拟结果 @wo9;DW`  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) X@arUs
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) t[<=QK  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) dWI\VS9  
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3D仿真与结果比较 pRC#DHcHh  
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3D仿真与结果比较 D,NjDIG8  
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