[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 n(nBRCG)o  
HBE.F&C88  
}V;+l8  
Dq@2-Cv  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 V==z"  
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建模任务 mV^Zy  
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模拟&设置：单平台互操作性 mnk"Vr` L  
建模技术的单平台互操作性 Q^K"8 ;  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 +z9@:L  
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V(MFna)  
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 平面波光源 :HxA`@Ok  
 微透镜阵列 9vNkZ-1  
 彩色滤光片(吸收介质) Rv,JU6>i  
 通过基底传播 EVX{ 7%  
 探测 ajRSMcKb7i  
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连接建模技术：微透镜 {K{EOB_u  
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连接建模技术：彩色滤光片 1T_QX9  
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连接建模技术：可编程介质 %S` v!*2  
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连接建模技术：自由空间传播 -5>-%13  
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连接建模技术：堆栈 g>d;|sK  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 iz(u=/*\  
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MF60-VE  
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 微透镜阵列 Giq=*D+  
 彩色滤光片(吸收介质) 5Ft5@UF~  
 通过基底传播 t#nn@Yf  
 探测 YI-O{U  
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元件内场分析器：FMM p2J|Hl|  
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模拟结果 
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) D=?{8'R'  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟)  <dR,'
 
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) <zB*'m  
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3D仿真与结果比较 I=dGq;Jaz  
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3D仿真与结果比较 M=!i>(yG  
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