[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 4/%Y@Z5
 
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 YmpaLZJ  
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建模任务
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模拟&设置：单平台互操作性 N6v?Qzvi  
建模技术的单平台互操作性 g/_0WW]}  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 @+l=R|  
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 平面波光源 t|mK5aR4  
 微透镜阵列 PfyJJAQ[  
 彩色滤光片(吸收介质) Q6wa-Y,  
 通过基底传播 @%G?Nht]o  
 探测 `a!9_%|8  
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连接建模技术：微透镜 jFJ}sX9]  
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连接建模技术：彩色滤光片 ];lZ:gT  
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连接建模技术：可编程介质 %1$#fxR  
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连接建模技术：自由空间传播 BjagG/sX  
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连接建模技术：堆栈 EEnl'  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 9^ZtbmUf
 
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 微透镜阵列 7KX27.~F  
 彩色滤光片(吸收介质) M;,$
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 通过基底传播 XL^05  
 探测 PCHspe9!y  
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元件内场分析器：FMM S,nELV~!  
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模拟结果 Hcwfe=K&/  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ,!b<SQ5M  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) w$6Z}M1d  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) #}FUau$  
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3D仿真与结果比较 "mf$E|  
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3D仿真与结果比较 (pd$?vRy  
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