[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 `%j~|i
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 _!|/ ;Nk  
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建模任务 d[;.r  
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模拟&设置：单平台互操作性 h
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建模技术的单平台互操作性 YZ+RWu9K  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 `8FUX= Sh  
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 平面波光源 Reu*Pe  
 微透镜阵列 gR@C0  
 彩色滤光片(吸收介质) %e@#uxm  
 通过基底传播 ~.!c~fke  
 探测 (#;`"Yu  
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连接建模技术：微透镜 B^^r\L9  
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连接建模技术：彩色滤光片 ^H6<Km l/V  
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连接建模技术：可编程介质 f#Xy
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连接建模技术：自由空间传播 D0N9Ksq  
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连接建模技术：堆栈 kD}Y|*]5-5  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 fJWC)E  
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 微透镜阵列 Uw4>v:  
 彩色滤光片(吸收介质) w eQYQrN  
 通过基底传播 C4NTh}6tT  
 探测 !|<=ZF2  
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元件内场分析器：FMM { m|pl  
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模拟结果 lHV[Ln`\x  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) [2|kl l  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &)oOeRwi].  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) &x >B  

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3D仿真与结果比较 B&N/$=5m  
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3D仿真与结果比较 &[&r2>a  
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