[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 {bc
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 2ix_,yTO  
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建模任务 xsAF<:S\  
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模拟&设置：单平台互操作性 4] DmgOru%  
建模技术的单平台互操作性 ao7|8[  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 *FG@Dts^&  
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 平面波光源 rx^pGVyg  
 微透镜阵列 u)Y#&qA  
 彩色滤光片(吸收介质) 8E0Rg/DnT  
 通过基底传播 W/?D}#e<4  
 探测 *]Vx=7D  
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连接建模技术：微透镜 Ir}&|"~H
 
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连接建模技术：彩色滤光片 ;#Mq=Fr-SG  
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连接建模技术：可编程介质 ff:&MsA|,  
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连接建模技术：自由空间传播 q_oYI3  
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连接建模技术：堆栈 3'.OghI  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 %@BQv4oJ  
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 微透镜阵列 _<3:vyfdC  
 彩色滤光片(吸收介质) kbMIMZC/G  
 通过基底传播 U7ajDw  
 探测 <o]tW4\(R  
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元件内场分析器：FMM ZE=~ re  
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模拟结果 fqZ!Bi  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Gwvs~jN  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) *y0`P0V|8  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) _6(zG.Fg  
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3D仿真与结果比较 &[s^`e  
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3D仿真与结果比较 F1,pA
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