[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 A8mc+ Bf(  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 jnJ*e-AW  
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建模任务 +fboTsp% H  
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模拟&设置：单平台互操作性 qtAt=` s  
建模技术的单平台互操作性 GBB
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在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 i,;eW&  
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 平面波光源 sHBTB6)lx  
 微透镜阵列 Iv  
 彩色滤光片(吸收介质) #p*uk  
 通过基底传播 o[Qb/ 7  
 探测 _p:n\9k  
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连接建模技术：微透镜 S"G(_%  
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连接建模技术：彩色滤光片 ;[ Dxk$"  
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连接建模技术：可编程介质 00i MU  
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连接建模技术：自由空间传播 GNM>hQ)h:  
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Ot47.z  
连接建模技术：堆栈 r@r*|5
0  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 !$1qnsz  
AC <2.i_  
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 微透镜阵列 P,m+^,  
 彩色滤光片(吸收介质) B6&[_cht  
 通过基底传播 r3' DXP  
 探测 lbt8S.fx  
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元件内场分析器：FMM h9m|f|cH  
;0m J4G  
9Cd/SlNV2  
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模拟结果 ,m`&J?  

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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ~),%w*L  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) \9p.I?=  
(@*|[wN  
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X1P1 $RdkR  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) b*S,8vE]  
3,G|oR{D  
w)S 4Xi=  
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3D仿真与结果比较 ->51t  
m=E/um[D  
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3D仿真与结果比较 AaB1H7r-  
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