[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 UJ1Ecob  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 6<+8[o  
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建模任务 (&ABfm/t  
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模拟&设置：单平台互操作性 h!UB#-  
建模技术的单平台互操作性 `1qM Sq  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Gp5=
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 平面波光源 1E|~;wo\  
 微透镜阵列 GUqhm$6a  
 彩色滤光片(吸收介质) N>'|fNx]  
 通过基底传播 d:1TSJff%/  
 探测 KD)+&69  
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连接建模技术：微透镜 +ZxG<1&  
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连接建模技术：彩色滤光片 N&'05uWY}  
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&@anv.D  
连接建模技术：可编程介质 t,m},c(B:  
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连接建模技术：自由空间传播 aE'nW@YL
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连接建模技术：堆栈 /y<nAGtD&  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 W
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 微透镜阵列 ILQB%0!  
 彩色滤光片(吸收介质) ")cJA f  
 通过基底传播 [c=T)]E1  
 探测 a7Fc"s*  
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元件内场分析器：FMM ub* j&L=  
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模拟结果 :GaK.W q  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 1sT%g}w@|  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Q0\tK=Z/  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) DD4fV`:kG  
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3D仿真与结果比较
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3D仿真与结果比较 JE<zQf(&  
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