[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 voV=}.(p  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 `^(6{p ?  
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建模任务 K3'`!Ka*  
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模拟&设置：单平台互操作性 9 `J`(  
建模技术的单平台互操作性 Q)HVh[4  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 xdp{y=,[  
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 平面波光源 jcFh2  
 微透镜阵列 j[) i>Qw  
 彩色滤光片(吸收介质) -twIF49  
 通过基底传播 }"Y]GH4Y  
 探测 -Qqb/y  
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连接建模技术：微透镜 3"!2C,3c#  
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连接建模技术：彩色滤光片 KdYT5VUM/  
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连接建模技术：可编程介质 Yy>%dL  
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连接建模技术：自由空间传播 `H^Nc\P#  
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#=Q/<r.~G  
连接建模技术：堆栈 {Kd9}CDAZ  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 htlsU*x  
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 微透镜阵列 ]Fl+^aLS  
 彩色滤光片(吸收介质) G-bG}9vc]  
 通过基底传播 ^yH|k@y  
 探测 -!(3fO:  
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元件内场分析器：FMM zO9|s}J8q  
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模拟结果 zZki9P   
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) (3c,
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) wL5IAkq  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) u)R>ozER  
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3D仿真与结果比较 &Vvy`JE  
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3D仿真与结果比较 \C/`?"4w  
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