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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-06-18
    摘要 voV=}.(p  
    9k2HP]8=[{  
    YceiP,!4?v  
    i>0I '~V  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 `^(6{p ?  
    _0^<)OSY  
    建模任务 K3'`!Ka*  
    _vvnxG!x&  
    --.:eFE/  
    \asF~P  
    模拟&设置:单平台互操作性 9 `J`(  
    建模技术的单平台互操作性 Q)HVh[4  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 xdp{y =,[  
    ){R_o5  
    -\AB!#fh  
    q^Oq:l$s  
     平面波光源 jcFh2  
     微透镜阵列 j[) i>Qw  
     彩色滤光片(吸收介质) -twIF49  
     通过基底传播 }"Y]GH4Y  
     探测 -Qqb/y  
    #.a4}ya19  
    连接建模技术:微透镜 3"!2C,3c#  
    XQ,I Ej|  
    5K{(V^88F  
    `;5UlkVZ5  
    BJ~Q\Si6  
    连接建模技术:彩色滤光片 KdYT5VUM/  
    uoaF(F-  
    #y}@FG  
    M ~.w:~Jm  
    连接建模技术:可编程介质 Yy>%dL  
    z15(8Y@2]  
    : bT*cgD{  
    7Dom[f  
    连接建模技术:自由空间传播 `H ^Nc\P#  
    r/:s2 oQ  
    S1E2E3  
    #=Q/<r.~G  
    连接建模技术:堆栈 {Kd9}CDAZ  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 htlsU*x  
    c*MjBAq  
    }B^s!y&b  
    SU2 (XP]5  
     微透镜阵列 ]Fl+^aLS  
     彩色滤光片(吸收介质) G-bG}9vc]  
     通过基底传播 ^yH|k@y  
     探测 -!(3fO:  
    B;hc|v{(  
    元件内场分析器:FMM zO9|s}J8q  
    f1hi\p0q  
     Rb\=\  
    tG{e(  
    模拟结果 zZki9P   
    u%VO'}Gz  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) (3c,;koRR  
    burEo.=  
    1Qhx$If~  
    'rp(k\ pY  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) wL5IAkq  
    ;&;coH8`  
    #e+%;5\  
    ~=Er= 0  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) u)R>ozER  
    NVeb,Pf  
    `H+ 7Hj  
    RyIr_:&-~  
    3D仿真与结果比较 &Vvy`JE  
    Xdq2.:\  
    v?fB:[dG  
    L>xcgV7  
    3D仿真与结果比较 \C/`?"4w  
    e%(zjCA  
     
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