[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 if*V-$[I  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 k4']q  
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建模任务 7h\is  
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MSCH6R"5  
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模拟&设置：单平台互操作性 &{Z+p(3Gj  
建模技术的单平台互操作性 2XR!2_)O5  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 mnA_$W3~I  
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 平面波光源 :Ra
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 微透镜阵列 )<QX2~m<  
 彩色滤光片(吸收介质) Yi9Y`~J  
 通过基底传播 XpANaqH\  
 探测 hJSvx  
}XUL\6U  
连接建模技术：微透镜 T={!/y+
 
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连接建模技术：彩色滤光片 JL {H3r&/S  
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连接建模技术：可编程介质 E,d<F{=8,o  
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连接建模技术：自由空间传播 1
Xi>&;],  
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连接建模技术：堆栈 4Q#{,y944  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;o'>`=Y  
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 微透镜阵列 oAifM1*0  
 彩色滤光片(吸收介质) CF3x\6.q}  
 通过基底传播 dfAw\7v/  
 探测 Lios1|5  
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元件内场分析器：FMM rMVcoO@3  
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模拟结果 P0; y  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) nCwA8AG
 
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) oMemF3M  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 4Th?q
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3D仿真与结果比较 ah<p_qe9|  
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3D仿真与结果比较 l x;87MDs  
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