[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ?a}~yz#B(  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 rO~D{)Nu  
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建模任务 a@./e @
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模拟&设置：单平台互操作性 sQvEUqy9  
建模技术的单平台互操作性 f!yxS?j3  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 wpvaTHo  
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 平面波光源 :?TV6M  
 微透镜阵列 ~zx
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 彩色滤光片(吸收介质) C-7.Sa  
 通过基底传播 T&%>/7I>  
 探测 aSj$62G"  
S@_GjCpn
 
连接建模技术：微透镜 mP-+];gg  
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连接建模技术：彩色滤光片 $8Zw<aEJ  
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连接建模技术：可编程介质 &lD4-_2J  
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连接建模技术：自由空间传播 .R1)i-^  
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连接建模技术：堆栈 jooh`| `P  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 |Q{l]D  
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 微透镜阵列 kys?%Y1  
 彩色滤光片(吸收介质) kn!J`"b  
 通过基底传播 9QpKB c  
 探测 4CDmq[AVS[  
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元件内场分析器：FMM q+N}AKawB  
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模拟结果 Ys\l[$_`*  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) LNj|t)Ov  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) <#c2Hg%jh  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 1@/+ c  
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3D仿真与结果比较 !OiP<8 ,H  
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3D仿真与结果比较 #ujcT%1G  
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