[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ]&za^%q0&  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 B
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建模任务 FhZ^/= As  
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模拟&设置：单平台互操作性 6&pI{  
建模技术的单平台互操作性 olNgtSX  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 :"+/M{qz  
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 平面波光源 .z/M (  
 微透镜阵列 C WJGr:}&  
 彩色滤光片(吸收介质) j rX.e  
 通过基底传播 BlF]-dF\  
 探测 [|ghq  
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连接建模技术：微透镜 L-}>;M$Y)  
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连接建模技术：彩色滤光片 K1rF;7Y6  
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连接建模技术：可编程介质 c+l1#[Dnc  
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连接建模技术：自由空间传播 x!klnpGp  
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连接建模技术：堆栈 }`g:)gJ  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 >
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 微透镜阵列 7^|oO~x6  
 彩色滤光片(吸收介质) acuch  
 通过基底传播 S<
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 探测 q\Cg2[nn2  
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元件内场分析器：FMM 8spoDb.S  
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模拟结果 kt8P\/~*i  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) (lwrk(  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) y2k'^zE  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ;Ee!vqD2  
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3D仿真与结果比较 ;seD{y7!  
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3D仿真与结果比较 cjzhuH/y  
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