[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ncT&G
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 uoh7Sz5!^  
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建模任务 - 1gVeT&  
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模拟&设置：单平台互操作性 ]Zh%DQ  
建模技术的单平台互操作性 SXP]%{@R/  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 V(!V_Ug9.  
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 平面波光源 }i&/G+_  
 微透镜阵列 <lJ345Q  
 彩色滤光片(吸收介质) PLBrP  
 通过基底传播 a/xn'"eli  
 探测 MkXmA`cP  
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连接建模技术：微透镜 SNk=b6`9  
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连接建模技术：彩色滤光片 ,f?*{Q2  
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连接建模技术：可编程介质 $U-0)4yf  
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连接建模技术：自由空间传播 &q*Aj17  
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连接建模技术：堆栈 p!AAF
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 FW DNpr  
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 微透镜阵列 0jWVp-y  
 彩色滤光片(吸收介质) :7;@ZEe  
 通过基底传播 lr&a;aZp  
 探测 lPAQ3t!,  
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元件内场分析器：FMM _7y[B&g[r  
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模拟结果 V>3X\)qu  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 4s oJ.j8  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 'dc#F3  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) :[d9tm  
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3D仿真与结果比较 4Wp=y  
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3D仿真与结果比较 2st3  
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