[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 -7)%J+5  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Iy8>9m'5  
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建模任务 26|2r  
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模拟&设置：单平台互操作性 JgXP2|Y!  
建模技术的单平台互操作性 &U:bRzD  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 GEU
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 平面波光源 rnWU[U8
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 微透镜阵列 
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 彩色滤光片(吸收介质) JFe %W?}.D  
 通过基底传播 T-x1jC!B'  
 探测  ?CKINN  
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连接建模技术：微透镜 F/z$jj)  
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连接建模技术：彩色滤光片 &kh7|:{j  
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连接建模技术：可编程介质 |r*btyOJk  
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连接建模技术：自由空间传播 1jU<]09.  
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连接建模技术：堆栈 $c4Q6w  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 [v$_BS#u^3  
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 微透镜阵列 !{5jP
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 彩色滤光片(吸收介质) $r%m<Uc;}O  
 通过基底传播 fRKO> /OT  
 探测 z[:UPPbW  
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元件内场分析器：FMM ~I<yN`5(a  
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模拟结果 .-[uQtyWW  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) x]umh{H~  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) v w$VRPW  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 0JTDJZOz@#  
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3D仿真与结果比较 +f/G2qY!t  
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3D仿真与结果比较 *k'D%}N:  
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