[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 v_M-:e3`  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 j#:IG/)GL  
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建模任务 Kvx~2ZMx6  
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模拟&设置：单平台互操作性 RuyqB>[o  
建模技术的单平台互操作性 ,#n$YT7  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 D,R"P }G  
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 平面波光源 )W,tL*9[  
 微透镜阵列 f/"
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 彩色滤光片(吸收介质) ;t6)(d4z?  
 通过基底传播 LtrE;+%2oz  
 探测 w3hG\2)[HS  
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连接建模技术：微透镜 3[_zz;Y*d  
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连接建模技术：彩色滤光片 6KH&-ffd  
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连接建模技术：可编程介质 4hl`~&yDf  
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Z'Uc}M'U  
连接建模技术：自由空间传播 G q&[T:  
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连接建模技术：堆栈 :o37 V!  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;\mTm;]G  
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 微透镜阵列 +uqP:z  
 彩色滤光片(吸收介质) =6YffXa_s  
 通过基底传播 ;o#wK>pk%M  
 探测 +.3,(l  
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元件内场分析器：FMM ,qUOPW?=  

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模拟结果 }L|cg2y  

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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ^`*p;&(K\^  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) M/x*d4b_  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) _mG>^QI.  
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3D仿真与结果比较 _/pdZM,V  
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3D仿真与结果比较 =N?K)QD`  
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