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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-06-18
    摘要 ?a}~yz#B(  
    /uVB[Tk^  
    Oh: -Y]m=  
    ub%q<sE*  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 rO~D{)Nu  
    2ou?:5i  
    建模任务 a@. /e @p  
    2},}R'aR  
    #S5vX<"9  
    d8>D=Ve  
    模拟&设置:单平台互操作性 sQvEUqy9  
    建模技术的单平台互操作性 f!yxS?j3  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 wpvaTHo  
    |^{ IHF\  
    STMcMm3  
    {+MMqJCa  
     平面波光源 :?TV6M  
     微透镜阵列 ~zx-'sc?  
     彩色滤光片(吸收介质) C-7.Sa  
     通过基底传播 T&%>/7I>  
     探测 a Sj$62G"  
    S@_GjCpn  
    连接建模技术:微透镜 mP-+];gg  
    J=sQ].EK  
    S=Zjdbd  
    V}*b^<2o 5  
    TBpW/wz/  
    连接建模技术:彩色滤光片 $8Zw<aEJ  
    4PdFq*A  
    lUrchLoDt  
    X qh+  
    连接建模技术:可编程介质 &lD4-_2J  
    qxq ~9\My  
    ;Wr$hDt^  
    7]Z*]GRX  
    连接建模技术:自由空间传播 .R1)i-^  
    zr,jaR;  
    /{lls2ycW%  
    +um; eL7  
    连接建模技术:堆栈 jooh`| `P  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 |Q{l ]D  
    "_^FRz#h  
    #M:W?&.  
    =(o$1v/k  
     微透镜阵列 kys?%Y1  
     彩色滤光片(吸收介质) kn! J`"b  
     通过基底传播 9QpKB c  
     探测 4CDmq[AVS[  
    7 >.^GD  
    元件内场分析器:FMM q+N}AKawB  
    rh+OgKi  
    6Cibc .vt  
    P~~RK& +i  
    模拟结果 Ys\l[$_`*  
    7Kn=[2J5k'  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) L Nj|t)Ov  
    3vy5JTCz~  
    @sVBG']p  
    h7g9:10  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) <#c2Hg%jh  
    Z*JZ Ubo-Q  
    o;"!#Z 1SJ  
    @x)z" )>  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 1 @/+ c  
    > vgqf>)kk  
    |/q*Fg[f  
    qoEOM%dAqV  
    3D仿真与结果比较 !OiP<8 ,H  
    $u>^A<TBN  
    e Q0bx&  
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    3D仿真与结果比较 #ujcT%1G  
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