[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 b)5uf'?-  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ;oKZ!ND  
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建模任务 v,{ :Ez(H  
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模拟&设置：单平台互操作性 0oZ= yh  
建模技术的单平台互操作性 oAJM]%g{  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 SpLzm A  
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 平面波光源 HU8900k+  
 微透镜阵列 ~Z?TFg  
 彩色滤光片(吸收介质) Vl/+;6_  
 通过基底传播 r?lf($D*  
 探测 2~1SQ.Q<RY  
JPc+rfF  
连接建模技术：微透镜 0y" $MC v  
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G%AbC"  
Yz/md1T$  
连接建模技术：彩色滤光片 RXpw!  
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D9CaFu  
连接建模技术：可编程介质 Vod\a5c  
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uk<4+x,2)  
连接建模技术：自由空间传播 jk; clwyz/  
x=hiQ>BIO0  
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j9x<Y]  
连接建模技术：堆栈 HZzDVCU  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 .779pT!,M
 
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 微透镜阵列 SO|NaqWa  
 彩色滤光片(吸收介质) J{p1|+h%  
 通过基底传播 +qtJaYf/0  
 探测 zUkgG61  
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元件内场分析器：FMM nX6u(U  
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rxgbV.tx  
模拟结果 $k@O`xD,q  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) G\/zkrxmv  
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F'={q{2wH  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Gv!2f  
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j\[dx^\=  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 7Utn\l  
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7{e 4c  
i^X]j  
3D仿真与结果比较 9N#_(uwt  
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3D仿真与结果比较
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