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O 近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
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~F"S] M9iX_4 模拟&设置：单平台互操作性 <h -)zI 建模技术的单平台互操作性 \U:OQ.e 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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8~Kq "wrbu ;,77|]<XE 平面波
光源 _dKMBcl)E 微透镜
阵列 AjK5x@\ 彩色滤光片(吸收介质)
T]th3* 通过基底传播
XvI~"} 探测
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p9"dm{ 连接建模技术：微透镜 Ix bQ6 I=! kPuw u} du @Aq 
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P 连接建模技术：彩色滤光片 7O55mc>cF #Z1%XCt 
. 1kB8 &} }O\IF}X 连接建模技术：可编程介质 T AG@Ab
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a %9cT#9!7 连接建模技术：自由空间传播 [FBS|v#T uWJJ\ 
8?Rp2n*o 2"D4q (@ 连接建模技术：堆栈 f1vD{M ; 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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Ar<5UnT a3 }V/MY 微透镜阵列
8\ s#law 彩色滤光片(吸收介质)
[H*JFKpx 通过基底传播
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}XrA 探测
p_I^7 $ `,}7LfY 元件内场分析器：FMM c ^I^jg2v NgTB4I 8P 
'&cH,yc;b r;{ $x 模拟结果 xX-r<:'tmi kWW2N0~ $ 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) `df!-\# V/#Ra 
D('.1 7 sF M$O232 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ;t0 q
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|$\K/]q - -J3~ j kf 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) _0+X32HjJ
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