[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 =Yz'D|=t  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 |'d>JT:  
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建模任务 b2,!g }I  
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模拟&设置：单平台互操作性 zK|i='XSf  
建模技术的单平台互操作性 _8,()t'"  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ?W>qUr
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 平面波光源 +{<#(}  
 微透镜阵列 `d7n?|pD  
 彩色滤光片(吸收介质) 9KWuN:Sg  
 通过基底传播 km~Ll  
 探测 '2^7-3_1  
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连接建模技术：微透镜 VTy9_~q  
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连接建模技术：彩色滤光片 ?POUtRN  
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连接建模技术：可编程介质 A,  3bC  
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连接建模技术：自由空间传播 {9UEq0  
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连接建模技术：堆栈 Z}$TKO*u  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ;rc`OZyE  
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 微透镜阵列 X}+>!%W!}  
 彩色滤光片(吸收介质) yw];P
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 通过基底传播 :VTTh |E%#  
 探测 '!/<P"5t  
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元件内场分析器：FMM SkmT`*v@  
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模拟结果 BNL;Biyt7  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) |PC*=ykT3  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) "'D=,*  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) dq]0X?[6  
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3D仿真与结果比较 V$
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3D仿真与结果比较 0tXS3+@n=  
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