[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 4a!%eBhX"K  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 u46Z}~xfb  
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建模任务 A#Ga!a  
C\Ob!sv%H  
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模拟&设置：单平台互操作性 Y[VXx8"p  
建模技术的单平台互操作性 \Lbwfd=  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 @yQ1F> t  
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 平面波光源 } nIYNeP?D  
 微透镜阵列 Cnc=GTRi  
 彩色滤光片(吸收介质) <JXHg,Q  
 通过基底传播 p_zVrlVb  
 探测 lR F5/  
]f`UflMO8  
连接建模技术：微透镜 iYdg1  
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连接建模技术：彩色滤光片 cYOcl-*af  
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连接建模技术：可编程介质 x a\~(B.  
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连接建模技术：自由空间传播 gH"aMEC  
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连接建模技术：堆栈 kA2)T,s74  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ~dgFr6  
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 微透镜阵列 }`2+`w%uZ  
 彩色滤光片(吸收介质) tqt~F2u  
 通过基底传播 sP9{tk2K  
 探测 %X\Rfn0J"  
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元件内场分析器：FMM _?$')P|  
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模拟结果 Sl \EPKZD  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) i!<(R$Lo  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) @}%kSn5y:  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Pi%-bD/w  
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3D仿真与结果比较 %2?"x*A  
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3D仿真与结果比较 CF+:v(NL  
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