[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 N9/k`ZGC  
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F\JS?zt2  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 RDbNC v#  
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建模任务 2@a'n@-  
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模拟&设置：单平台互操作性 ]&]G  
建模技术的单平台互操作性 Zl3l=x h  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 YeOn   
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 平面波光源 k
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 微透镜阵列 -4QZ/*  
 彩色滤光片(吸收介质) *x8~}/[T(F  
 通过基底传播 LBG`DYR@  
 探测 9q?knMt  
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连接建模技术：微透镜 AIOGa<^  
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连接建模技术：彩色滤光片 RbUir185Y  
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^kNVQJiZyG  
连接建模技术：可编程介质 x%X3FbF]  
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连接建模技术：自由空间传播 7x`$A  
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连接建模技术：堆栈 z]g#2xD2  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 [uqr  
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 微透镜阵列 >%6j-:S  
 彩色滤光片(吸收介质) ("A45\5  
 通过基底传播 L`M{bRl+1  
 探测 N/-(~r[
  
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元件内场分析器：FMM C,;<SV2#  
K'8o'S_bF  
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J-=fy^S5  
模拟结果 f4<~_ZGr  
LL:N/1ysG  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) nS$4[!0  
CNuE9|W(vI  
T\zn&6  
\W_ Dz*N  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) K&._fG  
e{2Za   
\zVp8MMf  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) SN[yC  
_j$V[=kdM/  
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3D仿真与结果比较 LVP6vs  
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3D仿真与结果比较 :'
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