[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 @:&dOqQ  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 _^sSI<&m  
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建模任务 Y0C<b*!"ST  
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模拟&设置：单平台互操作性 %.gjBI=  
建模技术的单平台互操作性 s+G9L)b'  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 @%85k/(  
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 平面波光源 _BaS\U%1(  
 微透镜阵列 XzFqQ-H  
 彩色滤光片(吸收介质) z#67rh{  
 通过基底传播 aL6 5t\2  
 探测 7#*CWh1BNO  
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连接建模技术：微透镜 <.XoC?j  
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连接建模技术：彩色滤光片 Z+Zh;Ms  
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连接建模技术：可编程介质 oQB1fs  
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连接建模技术：自由空间传播 =v"{EmT[$  
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连接建模技术：堆栈 +@v} (  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 AMfu|%ZL  
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 微透镜阵列 WL]'lSHa  
 彩色滤光片(吸收介质) ho<#i(  
 通过基底传播 S(xA}0]  
 探测 N/.9Aj/h~&  
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元件内场分析器：FMM DzOJ{dF  
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模拟结果 Ds/zl Z  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) I[C.iILL  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) y['icGU6  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 5Ep  
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3D仿真与结果比较 M?97F!\U  
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3D仿真与结果比较 3e:y?hpeL  
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