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J!S3pS5j @*_#zU#g 近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
Nz$O D_] m#8KCZS 建模任务 S;*,V |#QD
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,riwxl5*E/ h2,A cM 模拟&设置：单平台互操作性 |a'Q ^aT 建模技术的单平台互操作性 ,Hp9Gkm8I/ 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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R?X9U.AcW V+D "_ 平面波
光源 4 (Y5n? / 微透镜
阵列 H&%=>hyX 彩色滤光片(吸收介质)
TcRnjsY$ 通过基底传播
^hbh|Du 探测
~ |!q>z F3 wRHq 连接建模技术：微透镜 E\'_`L 8N|*n"`} 6bqJM# y@ 
Jr1^qY`0+ h8S%Q|- 连接建模技术：彩色滤光片 hvpn=0@ M eKu&_q 
((X"D/ F] A"9aEOX-?i 连接建模技术：可编程介质 YQ?|Vb
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vtvr{Uqo@ }E fp{E 连接建模技术：自由空间传播 5^%^8o -"a]) -
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pX*mX] \HH|{ 连接建模技术：堆栈 {CGk5` g~ 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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` D4J9;|;] &[3!Lk`.0 微透镜阵列
W>@+H"pZ 彩色滤光片(吸收介质)
pp{%\td 通过基底传播
Sb{S^w\m0 探测
t+?\4+!< *|` ' L 元件内场分析器：FMM huN(Q{fj fA+M/}= 
jCa{WV:K} otPEJ^W& 模拟结果 [s7I.rdGzz ? X:RrZ:/ 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Q"Bgr&RJ ,*C^ixNE 
1,pg:=N 9 OB"QWdh 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) }f({ 03$
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$~ `(!pa: m7 !l3W2 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) s"Kp+tTWj
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