[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 @T/C<-/:  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 p6=#LwL'  
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建模任务 w5n>hz_5  
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模拟&设置：单平台互操作性 HwST^\Ao  
建模技术的单平台互操作性 I}:>M!w  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 :L`z~/6  
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 平面波光源 82/iVm1  
 微透镜阵列 |=%$7b\C  
 彩色滤光片(吸收介质) &OzJ^G\o  
 通过基底传播 z%g<&Cq  
 探测 @XIwp2A{+  
9(X *[X#  
连接建模技术：微透镜 cuKgO{.GH  
&R^mpV5  
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LoCxoAg  
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连接建模技术：彩色滤光片 -5>g 0o2  
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连接建模技术：可编程介质 k2+Z7#2n  
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*M`[YG19!e  
RgRcW5VxK  
连接建模技术：自由空间传播 *v5y]E%aW  
"R30oA#m  
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cxv)LOl-  
连接建模技术：堆栈 3<`h/`ku  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 bg=`   
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 微透镜阵列 *l9Y]hinq  
 彩色滤光片(吸收介质) ?PQiVL  
 通过基底传播 EwOTG Y{0p  
 探测 vcSS+  
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元件内场分析器：FMM #tfJ?w`  
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模拟结果 _j2`#|oG  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) V('b|gsEo  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) So 5{E4[  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) @Uu\x~3y  
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3D仿真与结果比较 4NzHzn  
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3D仿真与结果比较 GhT7:_r~  
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