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Z7^}G=* 1#(1Bs 6X 近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
?zEF?LJoK SXEiyy[7v 建模任务 "->:6Oe2
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v`&Z.9!Tz^ 8(}sZ)6 模拟&设置：单平台互操作性 :m\KQ1sq 建模技术的单平台互操作性 1 GdD 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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Jy_'(hG )VT/kIq-U 平面波
光源 * 5n:+Tw( 微透镜
阵列 ^U}0D^jDeE 彩色滤光片(吸收介质)
pQNFH)=nw 通过基底传播
"}! rM6 h 探测
={^#E? +$t% L 连接建模技术：微透镜 ja/[PHq" T8- $[
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nQ\k{%Q dK: " 连接建模技术：彩色滤光片 1'
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O 0#Jl8 Bv8C_-lV/ 连接建模技术：可编程介质 ''uI+>Y
m+vEs,W.
h86={@Le b U NYTF{ 连接建模技术：自由空间传播 =]e^8;e9
y6}): | 
lWvd" Vlt gf?^yP ;V 连接建模技术：堆栈 {M/c! 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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09Y?!, * a!!(cZZ 微透镜阵列
dH|^\IQ 彩色滤光片(吸收介质)
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sv"mba.J 探测
c^ s> K/`RZ! 元件内场分析器：FMM vc #oALc& !T#y r) 
.E#Sm?gK r z{ 'X d 模拟结果 9^ p{/Io 1 ] ,,
Ar5 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) acQN pT \_nmfTr!K 
8"mW !M .A)Un/k7 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) dM {~Ubb
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