摘要 N9/k`ZGC
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;&j'`tP F\JS?zt2 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间
分辨率。同时,这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真,以验证微透镜的有效性。
RDbNC v# 6n2RT H 建模任务 2@a'n@-
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q<E7qY+ 7%"|6dw 模拟&设置:单平台互操作性 ]&]G 建模技术的单平台互操作性 Zl3l=x h 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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2*D2jw m%J?5rR3 平面波
光源 k H65k ( 微透镜
阵列 -4QZ/ * 彩色滤光片(吸收介质)
*x8~}/[T(F 通过基底传播
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探测
9q?knMt qOG@MR(5 连接建模技术:微透镜 AIOGa<^ |iJz[% Kc]cJ`P4.
w-WAgAch ,$Fh^KNo] 连接建模技术:彩色滤光片 RbUir185Y -aJ(-Np$f
)b nGZ8h99 ^kNVQJiZyG 连接建模技术:可编程介质 x%X3FbF]
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\_.'/<aQ a)2l9 连接建模技术:自由空间传播 7x`$ A ?:vg`m!*
'dwsm7Xd _~Od G 连接建模技术:堆栈 z]g#2xD2 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
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'(r?($s tz65Tn_M 微透镜阵列
>%6j -:S 彩色滤光片(吸收介质)
("A45\5 通过基底传播
L`M{bRl+1 探测
N/-(~r[ suQ`a_zJ 元件内场分析器:FMM C,;<SV2# K'8o'S_bF
+q2\3REzx J-=fy^S5 模拟结果 f4<~_ZGr LL:N/1ysG 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) nS$4[!0 CNuE9|W(vI
T\zn&6 \W_ Dz*N 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) K&._fG
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\zVp8MMf aEQrBs 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) SN[yC
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&VjPdu57 !K_<7iExI\ 3D仿真与结果比较 LVP6vs
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