[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Vhz?9i6|g^  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 $*xnq%A  
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建模任务 J^ P/2a#a  
h}q+Dw.i  
_S,2j_R9  
+_Fsiu_b  
模拟&设置：单平台互操作性 k1$|vzMh  
建模技术的单平台互操作性 %a8'6^k  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 9D(M>'Bh  
s]5wzbFO  
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 平面波光源 89`AF1  
 微透镜阵列 ^5 F-7R8Q  
 彩色滤光片(吸收介质) 6\\B{%3R2  
 通过基底传播 x@v,qF$K  
 探测 _AI2\e  
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连接建模技术：微透镜 }s}b]v  
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连接建模技术：彩色滤光片 &5(|a"5+G  
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_f|Au`7m  
连接建模技术：可编程介质 TkWS-=lNH0  
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kQ.atr`?e  
u-OwL1S+  
连接建模技术：自由空间传播 Te$/[`<U  
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BB--UM{7  
连接建模技术：堆栈 "SLN8x49(  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 +_:Ih,-   
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H$(%FWzQ%  
 微透镜阵列 1_7x'5GdA  
 彩色滤光片(吸收介质) [ueT]%  
 通过基底传播 ~K:#a$!%,  
 探测 #Sb1oLC  
Haj`mc!<D0  
元件内场分析器：FMM ppb]RN|)  
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模拟结果 `9a%}PVQ-  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) hS*3yCE"8  
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k W/3 Aq7r  
/ DeIs  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) W>wE8? _,  
D?@330'P9C  
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2~R"3c+^  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) g@MTKqs  
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3D仿真与结果比较 72~)bu
 
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3D仿真与结果比较 t+m$lqm  
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