[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 7)?C+=,0  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 )gpN 5TDd  
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建模任务 vNO&0~  
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模拟&设置：单平台互操作性 ,NO[Piok  
建模技术的单平台互操作性 YPK@BmAdE  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ;,y_^-
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 平面波光源 >d 5-if  
 微透镜阵列 R|?n  
 彩色滤光片(吸收介质) n:AZ(f   
 通过基底传播 ;>,B(Xz4i  
 探测 +y| B"}x  
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连接建模技术：微透镜 ko%mZ0Y  
D+T/ Z)  
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FSuC)Xg  
连接建模技术：彩色滤光片 175e:\Tw  
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连接建模技术：可编程介质 f6r!3y  
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连接建模技术：自由空间传播 Z~:)hwF  
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)U/Kz1U  
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连接建模技术：堆栈 :
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Wvb ~j  
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 微透镜阵列 r1~W(r.x  
 彩色滤光片(吸收介质) 0hY3vBQ!  
 通过基底传播 _DR@P(0>_  
 探测 lhM5a \  
Q g/Rw4[  
元件内场分析器：FMM Xl=RaV
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模拟结果 NXD-  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) UV(`.  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) +*OAClt+]  
q:_:E*o  
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WOPIF~1v  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 0}GO$%l  
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3D仿真与结果比较 {~&]  
H2iIBGu|L  
Zzlt^#KLx  
PU%Zay  
3D仿真与结果比较 P%B|HnG^  
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