[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 56
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 `<kB/T  
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建模任务 0b['{{X(  
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模拟&设置：单平台互操作性 '1(6@5tyWk  
建模技术的单平台互操作性 *nc3A[B#C  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 d3Y;BxEz  
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 平面波光源 *l;S"}b*,_  
 微透镜阵列 ~9xkiu5~  
 彩色滤光片(吸收介质) !XM<`H/  
 通过基底传播 jD%|@ux  
 探测 KCAV  
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连接建模技术：微透镜 K&zW+Cb  
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连接建模技术：彩色滤光片 {}rnn$HQe  
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连接建模技术：可编程介质 2g~ @99`  
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连接建模技术：自由空间传播 >3pT).wH|M  
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连接建模技术：堆栈 1KbZ6Msy  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ^)I}#  
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 微透镜阵列 F\^8k/0  
 彩色滤光片(吸收介质) F'sX ^/;  
 通过基底传播 F_9 4k  
 探测 y.}{KQ"a*  
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元件内场分析器：FMM sW'_K.z  
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模拟结果 HA,8O[jon  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) "]kzt ux  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ZI;*X~h  
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2G$px  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) {?Y\T  
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3D仿真与结果比较 J]XLWAM  
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3D仿真与结果比较 xw_klHL-o  
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