[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 <izQ]\kL  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 *}[\%u$ T  
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建模任务 pYr"3BwG  
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模拟&设置：单平台互操作性 g \mE  
建模技术的单平台互操作性 eP{srP3 9  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 X.]I4O&_  
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 平面波光源 of
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 微透镜阵列 t
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 彩色滤光片(吸收介质) "*g+qll!5d  
 通过基底传播  W!Tx%  
 探测 Gnc`CyN:H  
bS_#3T  
连接建模技术：微透镜 1wSAwpz  
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7ZcF0h  
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连接建模技术：彩色滤光片 2"/MM2s  
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h~dQ5%  
连接建模技术：可编程介质 n#_B4UqW%  
MK< y$B{}  
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连接建模技术：自由空间传播 ,H7X_KbFD4  
2.qPMqH  
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连接建模技术：堆栈 Q*M#e  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Mf5
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 微透镜阵列 sz7*x{E  
 彩色滤光片(吸收介质) CEfqFn3^  
 通过基底传播 UmKE]1Yw4r  
 探测 L!f~Am:#  
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元件内场分析器：FMM g)Z8WH$;H3  
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模拟结果 @2(u=E:^  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Ou[K7-m%&  

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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) DYX{v`>f^  
Sv=YI
 
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ?<Qbp;WBo  
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3D仿真与结果比较 aZZ0eH  
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3D仿真与结果比较 ]w*"KG!(  
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