[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 !WDdq_n*v  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 c-gaK\u}j}  
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建模任务 9#_49euy|P  
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模拟&设置：单平台互操作性 2Q<_l*kk(  
建模技术的单平台互操作性 sYXVSNonm  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 iPE-j#|  
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 平面波光源 |/rBR!kPq  
 微透镜阵列 UY>{e>/H9  
 彩色滤光片(吸收介质) ULsz<Hj  
 通过基底传播 ]jM D'vg^b  
 探测 pvcf_w`n
 
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连接建模技术：微透镜 ;r8,Wx@f1C  
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连接建模技术：彩色滤光片 u*H2kn[DU  
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连接建模技术：可编程介质 =(zk-J<nY  
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连接建模技术：自由空间传播 gSC8qip  
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连接建模技术：堆栈 qOkw6jfluh  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 6`%}s3Xq  
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 微透镜阵列 C$rZn%dp(  
 彩色滤光片(吸收介质) hZ$* sf  
 通过基底传播 Qg1LT8  
 探测 .'>r?%a  
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元件内场分析器：FMM -!7QH'  
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模拟结果 T,jxIFrF  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) V@T G"YF  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &>sG xK  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) {}vW=  
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3D仿真与结果比较 )FE'#\  
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3D仿真与结果比较 '[:].?M  
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