[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 G8J*Wnwu[K  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 NxA)@9Q  
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建模任务 T.mmmT  
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模拟&设置：单平台互操作性 . (}1%22  
建模技术的单平台互操作性 2%u;$pj  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 SF[FmN!^^  
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 平面波光源 3W_PE+:Kr  
 微透镜阵列 Qf$|_&|  
 彩色滤光片(吸收介质) &--ej|n  
 通过基底传播 -
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 探测 r^,<(pbd  
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连接建模技术：微透镜 DA&?e~L&H  
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连接建模技术：彩色滤光片 Q'O[R+YT ,  
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连接建模技术：可编程介质 !> }.~[M  
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连接建模技术：自由空间传播 jz58E}  
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连接建模技术：堆栈 { FZ=olZ  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 rE9I>|tX  
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 微透镜阵列 o6 E!IX+  
 彩色滤光片(吸收介质) sm[94,26  
 通过基底传播 YQJ==C1  
 探测 4lhw3,5  
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元件内场分析器：FMM M])dJ9&e  
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模拟结果 AdRX`[ik  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) tyaA\F57  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) P) 3mX.(}  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) x#Sqn#  
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3D仿真与结果比较 _6ay-u  
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3D仿真与结果比较 p<M\U"5Ye  
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