[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 =DDKGy.g  

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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 |D"L!+J-$  
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建模任务 4n7Kz_!SVf  
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模拟&设置：单平台互操作性 fs&$?mHL){  
建模技术的单平台互操作性 QOS
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在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 h\w;SDwOk  
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 平面波光源 ~$5XiY8A  
 微透镜阵列 YZ4`b-  
 彩色滤光片(吸收介质) ,.>9$(s  
 通过基底传播 X~0-WBz  
 探测 -ZZJk-::  
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连接建模技术：微透镜 rxu_Ssd@"  
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连接建模技术：彩色滤光片 ]B=*p0~j^n  
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连接建模技术：可编程介质 LkS tU)  
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@Xl(A]w%!  
连接建模技术：自由空间传播 'W
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连接建模技术：堆栈 s0f+AS|}  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 N wk  
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 微透镜阵列 JR.)CzC  
 彩色滤光片(吸收介质) I!*P' {lh  
 通过基底传播 92<+ug=  
 探测 `+n#CWZ"Y  
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元件内场分析器：FMM sPvs}}Z]P  
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模拟结果 L{%L*z9J  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) KqntOo} y)  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) |> STb\  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) N)g_LL>^  
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3D仿真与结果比较 NgyEy n \  
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3D仿真与结果比较 $TXiWW+  
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