[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 @wpN6 /   
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 [Sr,h0h6  
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建模任务 A )^`?m3  
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模拟&设置：单平台互操作性 =Z P%mW&;}  
建模技术的单平台互操作性 Ge-CY  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 W3IpHV  
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 平面波光源 ;A|-n1e>Hc  
 微透镜阵列 <KE 1f7c  
 彩色滤光片(吸收介质) bSfpbo4(  
 通过基底传播 `tHvD=`m.  
 探测 _A+s)]}  
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连接建模技术：微透镜 %MrWeYd1  
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连接建模技术：彩色滤光片 @6{~05.p  
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连接建模技术：可编程介质 M,/mE~  
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连接建模技术：自由空间传播 "}pNe"ok  
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连接建模技术：堆栈 jp0<pw_  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Y( 3Bp\6  
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 微透镜阵列 /LO-HnJ  
 彩色滤光片(吸收介质) <_3b1VhZ  
 通过基底传播 fb{``,nO  
 探测 y^%
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元件内场分析器：FMM I_<I&{N>  
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模拟结果 kKAP"
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ;?8_G%va  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ~xD={9BL  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ~nr
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3D仿真与结果比较 DV _2P$tT|  
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3D仿真与结果比较 #)C[5?{SNq  
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