[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 wIxLr{  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 wH|\;M{0V1  
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建模任务 YvBUx#\  
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模拟&设置：单平台互操作性 Vy}:Q[  
建模技术的单平台互操作性 S_?}H  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ;-*4 (3lu  
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 平面波光源 D3XQ>T[*q  
 微透镜阵列 f$2lq4P{  
 彩色滤光片(吸收介质) i"JF~6c<  
 通过基底传播 ,j&o H$mW  
 探测 50_%Tl[  
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连接建模技术：微透镜 {\]SvoJnJ  
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连接建模技术：彩色滤光片 \BJnJk!%  
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连接建模技术：可编程介质 =FwFqjvl  
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连接建模技术：自由空间传播 ENqJ9%sk7  
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连接建模技术：堆栈 r-'j#|^tz  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ]^j)4us  
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 微透镜阵列 {H0B"i  
 彩色滤光片(吸收介质) a<vCAFQ  
 通过基底传播 a nIdCOh  
 探测 RYvS,hf6z  
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元件内场分析器：FMM !JrVh$K  

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模拟结果 5?2PUE,a  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) seq S*^7  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) x2K.5q>  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) <K 4zH<y  
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3D仿真与结果比较 (obeEH5J  
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3D仿真与结果比较 YMJjO0  
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