[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ?-OPX_i_  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 .>Z,uT^A  
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建模任务 VW@
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模拟&设置：单平台互操作性 C;Ic
  
建模技术的单平台互操作性 !umEyd@ "  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 PzZZ>7_6S  
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 平面波光源 p|XA
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 微透镜阵列 MS<SAD>w  
 彩色滤光片(吸收介质) )F pJ1  
 通过基底传播 R^MiP|?ZH  
 探测 E1Q0k5@  
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连接建模技术：微透镜 *~z#.63oZ  
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连接建模技术：彩色滤光片 VjbG(nB?_  
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连接建模技术：可编程介质 $E(XjuS  
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连接建模技术：自由空间传播 ivrXwZ7jT  
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连接建模技术：堆栈 u/AT-er;  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ^uaFg`S  
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 微透镜阵列 lr('k`KO
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 彩色滤光片(吸收介质) xRDiRj  
 通过基底传播 `1p 8C%  
 探测 EychR/s  
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元件内场分析器：FMM 2HOe__Ns  
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模拟结果 y7zkAXhJ  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟)  Iao[Pyk  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) vC9@,[  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) mf4z?G@6  
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3D仿真与结果比较 P"4Mm
, C  

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3D仿真与结果比较 ` py}99G  
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