[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 H*VZ&{\7  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 GZk
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建模任务 Dvz}sQZ  
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模拟&设置：单平台互操作性 $ITh)#Nj  
建模技术的单平台互操作性 >4x~US[VB  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ra>jVE0`  
Y.}8lh eH  
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 平面波光源 r8Pdk/CW^  
 微透镜阵列 XTPf~Te,=  
 彩色滤光片(吸收介质) z3Ro*yJU  
 通过基底传播 #Y;tobB  
 探测 j%@wQVxq  
'>0rp\jC  
连接建模技术：微透镜 N9jSiRJ  
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A@qwD300Vo  
3Z-N*bhC  
连接建模技术：彩色滤光片 +!9&zYu!  
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连接建模技术：可编程介质 fjwUh>[ }  
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连接建模技术：自由空间传播 +Oa+G.;)o4  
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连接建模技术：堆栈 +(qs{07A$  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ,8/Con|o  
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 微透镜阵列 6-vQQ-\  
 彩色滤光片(吸收介质) !w #x@6yq  
 通过基底传播 iZbY@-3fc  
 探测 cc_v4d{x  
6y d/3k  
元件内场分析器：FMM 0CFON2I  
lhRo+X#G  
i!+Wv-  
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模拟结果 wdzZ41y1  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) /ig'p53jL  
5^+QTQ  
N@>o:(08  
w +~,Mv\  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) `SH#t3 5,  
^KO=8m( )J  
C.rLog#  
8R;A5o,  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 7B| #*IZe  
pg:1AAhT[  
&9:"X  
Jx(`.*$  
3D仿真与结果比较 2^.qKY@g@  
X \GB:#:X  
%@9pn1,  
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3D仿真与结果比较 d|?'yX  
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