[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ;#i$0~lRl  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 >pvg0Fh  
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建模任务 r![JPhei  
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模拟&设置：单平台互操作性 u(Sz$eV  
建模技术的单平台互操作性 ~{G:,|`  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 o~&!M_ED  
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 平面波光源 a3O_#l-Z  
 微透镜阵列 !F#aodM1N  
 彩色滤光片(吸收介质) A]%t0>EL<  
 通过基底传播 Ef!p:HBJ  
 探测 TF-Ty  
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连接建模技术：微透镜 /t)c fFM  
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连接建模技术：彩色滤光片 UH-uU~  
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连接建模技术：可编程介质 /8t+d.r;/  
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连接建模技术：自由空间传播 ]~S+nlyd<  
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DE\bYxJ  
连接建模技术：堆栈 q,+kPhHEgy  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ~!:Sp_y  
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 微透镜阵列 w1@b5-  
 彩色滤光片(吸收介质) S50x0$%<W  
 通过基底传播 /dJ)TW(Ir  
 探测 F0'A/T'ht  
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元件内场分析器：FMM !_-sTZ  
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模拟结果 ?t0zsq  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) !H|82:`t+  
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vo6[2.HS  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) yaRc
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) s|gD  
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A` o?+2s_  
3D仿真与结果比较 Go\} A:|s  
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3D仿真与结果比较 MzR1<W{ O  
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