[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 XN Gw@$  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ~
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建模任务 7ZR0cJw;  
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模拟&设置：单平台互操作性 q?0&&"T}  
建模技术的单平台互操作性 0YA  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ;Im%L=q9GL  
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 平面波光源
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 微透镜阵列 ODFCA. t  
 彩色滤光片(吸收介质) sgfci{~  
 通过基底传播 ?qt.+2:  
 探测 u_*DS-  
Vm]xV_FOd  
连接建模技术：微透镜 j#rj_uP  
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连接建模技术：彩色滤光片 +zL|j/q?  
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连接建模技术：可编程介质 Cw$7d:u  
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连接建模技术：自由空间传播 4T??8J-J  
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连接建模技术：堆栈 #<o=W#[  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 aESlbH  
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 微透镜阵列 ZGsI\3S  
 彩色滤光片(吸收介质) khQ@DwO*\=  
 通过基底传播 wmDO^}>ZP  
 探测 9NC?J@&B  
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元件内场分析器：FMM 8Xx4W^*_  
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模拟结果 ! z6T_;s  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) k{C03=xk  
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L]Dq1q8`  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ]Ei*I}  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ESmWK;7b  
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VM}7 ~  
RMs+pN<5  
3D仿真与结果比较 L/xTW  
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3D仿真与结果比较 h|%a}])G)  
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