[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 *g;-H&`  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 {5%/T,  
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建模任务 eu'1H@vX(  
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模拟&设置：单平台互操作性 XV'fW~j\  
建模技术的单平台互操作性 =ex'22  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 1'G8o=~  
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 平面波光源 +ySY>`1k~  
 微透镜阵列 CQODXB^  
 彩色滤光片(吸收介质) YYRT.U'  
 通过基底传播 6(sIYZ2yq  
 探测 I"xWw/Ec  
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连接建模技术：微透镜 g$j6n{Yl  
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连接建模技术：彩色滤光片 bO49GEUT _  
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连接建模技术：可编程介质 w 7tC|^#G  
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连接建模技术：自由空间传播 vW' 5` %  
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连接建模技术：堆栈 !Y;<:zx5  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ~4 FDKUC  
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 微透镜阵列 qmmv7==  
 彩色滤光片(吸收介质) |*Ot/TvG  
 通过基底传播 6b:DJ  
 探测 MWq$AK]  
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元件内场分析器：FMM N4[E~-  
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模拟结果 8wiA  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 0&`}EXe<f  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) MOV =n75  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) {v+a!#{c7  
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3D仿真与结果比较 >5i?JUZ  
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