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O(YvE
O*+,KKPt }-15^2 元件内部场分析器:FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此,使用傅立叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算周期性结构(透射或反射、电介质或金属)内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化:正向模式、反向模式或两者同时显示。
,U#FtOec Ej/P:nB 元件内部场分析仪:FMM yh"48@L'D $BWA=2$ yc3i> w` 元件内部场分析器:FMM是
光栅光学装置的独有功能,可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
H5?H{ ]ppws3*Pa 评估模式的选择 V.Qy4u7m ,ku3;58O< $%0A#&DVh 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场,可以仅评估正向或反向传播模式,或者评估两者的总和。
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l*O)r 评价区域的选择 ~U`|+
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1n )&%r NM&R\GI 元件内部场分析器:FMM可以输出整个元件(包括基板)内部的场,或者只输出一个堆栈或基块(基板)中的场。
OZi4S3k ]8ob`F`m, 不同光栅结构的场分布 Wc!.{2 >`u/#mrd 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子:
&Y|AX2KUC 8I,/ysT: 6V6,m4e 光栅结构的采样 D}A>`6W<