摘要 e'u 9 SpJ
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-tDmzuD6 g llXJM^ - 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
; LTc4t WhvO-WF 元件内部场分析仪：FMM #MI}KmH
pO"V9[p] ?+5 1 B- 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
&!~q#w1W-5 O10h(Wg 评估模式的选择 Xmtq~}K> Y (<>[8S m P _ w+p"@m 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
_w(SHWh2 37{mhU 评价区域的选择 :U?Kwv8 s ^f>+5G 
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I +E ]{dg"J 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
(/c9v8Pr(7 1C:lXx$| 不同光栅结构的场分布 m\j'7mZ1 ?(hdV ?8)P 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
]_j{b)t J5IQ LR}b^QU7 光栅结构的采样 #Ey!?Z ~g)gXPjke 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
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w,D(zk$ #m|AQr| 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
v dyu =*Y zZseK 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
h@/c76}f6p p ^T0(\1 WM: we*k8h 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） N }Z"$4 }7k+tJ< 03[(dRK>= 对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
K5'@$Km |5`z;u7V 输出数据的采样：二维周期光栅 H 2\KI( =((#k DrN 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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