w0 Fwd 半径为6400公里的行星上的中频空间波。
/7k.r}6\R /~i.\^HX 条纹的非直边是由未优化设置的CNC抛光工艺中的中频空间误差引起的
9W1;Kb|Z< 2Vp>" 预抛光光学元件上的同心圆状中频空间误差,由未优化的点接触式CNC研磨工艺所导致
[3j$ 4rP 6R;) 中频表面误差在功率谱密度图(PSD:用于表征表面空间频率分布的量度)上位于低频面形误差与高频粗糙度误差之间。根据经验法则,中频误差的“起始”
波长约为通光孔径的1/5。此类误差会导致
光线偏折、
成像中的非预期横向亮度分布,或引发散射效应及光晕现象。
[1z{T(dh {q&@nm40 存在中频空间误差的透镜焦点
7fTxGm
n$.1Wk" 移除中频空间误差的同一透镜焦点
CN.6E<9'kK 光学中频面形误差通常源自于以下因素:
^Sy^+=wK3 • 机床振动
C(-[ Y! • 亚孔径工具接触
5oz>1 • 亚孔径抛光过程中的过量
材料去除
=
:Po%Z%{ • 检测与加工坐标系的对准偏差
5ZnSA9? • 机床与工具的共振频率
B/jrYT$;m • 工具与工件转速的固定比率
94Xjz( • 生成CNC加工文件的CAD数据文件质量(如样条
曲线与NURBS曲面)
2Sge 在规范光学表面中频空间公差的多种方法中,以下两种最为常用:斜率(SLOPE)和中频空间波长(Mid-Spatial-Wavelength, MSW)
f%2%T'Q 斜率(SLOPE)规定了最大允许的局部倾斜度[角分](通常,但不一定用于定义的采样长度):
r_Lu~y| S?*^>Y-e; 中频空间波长(MSW)规定了最小允许的中频空间波长[毫米]:
C/F@ ]_y
|/@0~O(6 两者(SLOPE和MSW)可以使用PanDao的“PRO-OPTICS-CONVERTER”工具相互转换。
sf Dg/ a PanDao软件读取中频空间波长(MSW)
参数;通常平面与球面不允许存在中频空间误差,对应参数设置为MSW=0。