QP(BZJC 半径为6400公里的行星上的中频空间波。
v ~)LO2y
QlZ@ To 条纹的非直边是由未优化设置的CNC抛光工艺中的中频空间误差引起的
p,W_'?,9 s8mr'' 预抛光光学元件上的同心圆状中频空间误差,由未优化的点接触式CNC研磨工艺所导致
^J/)6/TMXm 27Emm
c 中频表面误差在功率谱密度图(PSD:用于表征表面空间频率分布的量度)上位于低频面形误差与高频粗糙度误差之间。根据经验法则,中频误差的“起始”
波长约为通光孔径的1/5。此类误差会导致
光线偏折、
成像中的非预期横向亮度分布,或引发散射效应及光晕现象。
1vevEa$ dcfe_EuT 存在中频空间误差的透镜焦点
E6MA?Ax&=
EL{vFP 移除中频空间误差的同一透镜焦点
9pSUIl9|j 光学中频面形误差通常源自于以下因素:
$)Bg JDr • 机床振动
uGP(R=H • 亚孔径工具接触
g P}+wbk • 亚孔径抛光过程中的过量
材料去除
E-2eOT • 检测与加工坐标系的对准偏差
+[-i%b3q • 机床与工具的共振频率
XNH4vG
| • 工具与工件转速的固定比率
obH;g* • 生成CNC加工文件的CAD数据文件质量(如样条
曲线与NURBS曲面)
#f,y&\Xmf 在规范光学表面中频空间公差的多种方法中,以下两种最为常用:斜率(SLOPE)和中频空间波长(Mid-Spatial-Wavelength, MSW)
c-4STPNQi 斜率(SLOPE)规定了最大允许的局部倾斜度[角分](通常,但不一定用于定义的采样长度):
,<Kx{+ [h 3iNkoBCg 中频空间波长(MSW)规定了最小允许的中频空间波长[毫米]:
5K%Wa]W gzn^#3 b 两者(SLOPE和MSW)可以使用PanDao的“PRO-OPTICS-CONVERTER”工具相互转换。
^QXbJJ PanDao软件读取中频空间波长(MSW)
参数;通常平面与球面不允许存在中频空间误差,对应参数设置为MSW=0。