B+8B<xZ 半径为6400公里的行星上的中频空间波。
"[t (u/e eQQ*ZNG 条纹的非直边是由未优化设置的CNC抛光工艺中的中频空间误差引起的
rS^+y{7 F2#s^4Ii 预抛光光学元件上的同心圆状中频空间误差,由未优化的点接触式CNC研磨工艺所导致
EvQMt0[?EW d iG kwKj 中频表面误差在功率谱密度图(PSD:用于表征表面空间频率分布的量度)上位于低频面形误差与高频粗糙度误差之间。根据经验法则,中频误差的“起始”
波长约为通光孔径的1/5。此类误差会导致
光线偏折、
成像中的非预期横向亮度分布,或引发散射效应及光晕现象。
B %Vz -t 896oz> 存在中频空间误差的透镜焦点
bw& U[|A0%
d"Aer 移除中频空间误差的同一透镜焦点
heN?lmC 光学中频面形误差通常源自于以下因素:
uiQR RT • 机床振动
9pJk.Np0 • 亚孔径工具接触
IGC:zZ~z • 亚孔径抛光过程中的过量
材料去除
m^M sp:T, • 检测与加工坐标系的对准偏差
ym~ • 机床与工具的共振频率
0v/}W( • 工具与工件转速的固定比率
12JmSvD • 生成CNC加工文件的CAD数据文件质量(如样条
曲线与NURBS曲面)
7 _*k<W7| 在规范光学表面中频空间公差的多种方法中,以下两种最为常用:斜率(SLOPE)和中频空间波长(Mid-Spatial-Wavelength, MSW)
3!:?OUhx 斜率(SLOPE)规定了最大允许的局部倾斜度[角分](通常,但不一定用于定义的采样长度):
e0; KmQjG XV|u!'Ey 中频空间波长(MSW)规定了最小允许的中频空间波长[毫米]:
pX~X{JTaL) }2nmfm! 两者(SLOPE和MSW)可以使用PanDao的“PRO-OPTICS-CONVERTER”工具相互转换。
g4-UBDtYt PanDao软件读取中频空间波长(MSW)
参数;通常平面与球面不允许存在中频空间误差,对应参数设置为MSW=0。