Ht}?=ZzW 半径为6400公里的行星上的中频空间波。
_@)-#7 <h+UC# .x 条纹的非直边是由未优化设置的CNC抛光工艺中的中频空间误差引起的
_I,GH{lh I (ruMOKW 预抛光光学元件上的同心圆状中频空间误差,由未优化的点接触式CNC研磨工艺所导致
o+k*ia~Fa M;AvOk|& 中频表面误差在功率谱密度图(PSD:用于表征表面空间频率分布的量度)上位于低频面形误差与高频粗糙度误差之间。根据经验法则,中频误差的“起始”
波长约为通光孔径的1/5。此类误差会导致
光线偏折、
成像中的非预期横向亮度分布,或引发散射效应及光晕现象。
W%&s$b( OqH3.@eK 存在中频空间误差的透镜焦点
Hv'
OO@z
G[`2Nd< 移除中频空间误差的同一透镜焦点
sc-h O9~k 光学中频面形误差通常源自于以下因素:
{ktwX\z • 机床振动
Ur1kb{i • 亚孔径工具接触
]d{lS&PRlg • 亚孔径抛光过程中的过量
材料去除
S&l [z, • 检测与加工坐标系的对准偏差
3,hu3"@k • 机床与工具的共振频率
q!><:"#[G • 工具与工件转速的固定比率
C^_m>H3b • 生成CNC加工文件的CAD数据文件质量(如样条
曲线与NURBS曲面)
w4Hq|N1-Y 在规范光学表面中频空间公差的多种方法中,以下两种最为常用:斜率(SLOPE)和中频空间波长(Mid-Spatial-Wavelength, MSW)
&+hk5?c / 斜率(SLOPE)规定了最大允许的局部倾斜度[角分](通常,但不一定用于定义的采样长度):
&N/dxKZcc hhU\$'0B- 中频空间波长(MSW)规定了最小允许的中频空间波长[毫米]:
64"DT3: rkdA4'66w 两者(SLOPE和MSW)可以使用PanDao的“PRO-OPTICS-CONVERTER”工具相互转换。
XXwo(trs~= PanDao软件读取中频空间波长(MSW)
参数;通常平面与球面不允许存在中频空间误差,对应参数设置为MSW=0。