igj={==m 半径为6400公里的行星上的中频空间波。
EB29vHAt~ Y7:Y{7E7 条纹的非直边是由未优化设置的CNC抛光工艺中的中频空间误差引起的
^`jZKh8)h l@tyg7CwY 预抛光光学元件上的同心圆状中频空间误差,由未优化的点接触式CNC研磨工艺所导致
e@,u`{C[ ^L8Wn6s' 中频表面误差在功率谱密度图(PSD:用于表征表面空间频率分布的量度)上位于低频面形误差与高频粗糙度误差之间。根据经验法则,中频误差的“起始”
波长约为通光孔径的1/5。此类误差会导致
光线偏折、
成像中的非预期横向亮度分布,或引发散射效应及光晕现象。
x'@32gv inPdV9 存在中频空间误差的透镜焦点
Bd[L6J)
4g 6ksdFQ 移除中频空间误差的同一透镜焦点
;la#Vf:] 光学中频面形误差通常源自于以下因素:
e\A(#l@g • 机床振动
N7~)qqb • 亚孔径工具接触
2i7i\?<. • 亚孔径抛光过程中的过量
材料去除
gaw4NZd)0 • 检测与加工坐标系的对准偏差
(
*9Ip • 机床与工具的共振频率
O+E1M=R6h • 工具与工件转速的固定比率
:zj9%4A • 生成CNC加工文件的CAD数据文件质量(如样条
曲线与NURBS曲面)
%7NsBR!y 在规范光学表面中频空间公差的多种方法中,以下两种最为常用:斜率(SLOPE)和中频空间波长(Mid-Spatial-Wavelength, MSW)
ie$`pyj!x 斜率(SLOPE)规定了最大允许的局部倾斜度[角分](通常,但不一定用于定义的采样长度):
@m/;ZQ Q_QKm0! 中频空间波长(MSW)规定了最小允许的中频空间波长[毫米]:
+w k]iH ib(>vp$V 两者(SLOPE和MSW)可以使用PanDao的“PRO-OPTICS-CONVERTER”工具相互转换。
@QVqpE<| PanDao软件读取中频空间波长(MSW)
参数;通常平面与球面不允许存在中频空间误差,对应参数设置为MSW=0。