=Q9^|& 6 半径为6400公里的行星上的中频空间波。
edMCj c$ /.Xp 条纹的非直边是由未优化设置的CNC抛光工艺中的中频空间误差引起的
Doc zQc-U+ 9YI@c_1 Q 预抛光光学元件上的同心圆状中频空间误差,由未优化的点接触式CNC研磨工艺所导致
*B3f ry 0hoMf=bb$ 中频表面误差在功率谱密度图(PSD:用于表征表面空间频率分布的量度)上位于低频面形误差与高频粗糙度误差之间。根据经验法则,中频误差的“起始”
波长约为通光孔径的1/5。此类误差会导致
光线偏折、
成像中的非预期横向亮度分布,或引发散射效应及光晕现象。
t#.}0Te7 }p?,J8=- 存在中频空间误差的透镜焦点
M1eh4IVE?
) 'xyK 移除中频空间误差的同一透镜焦点
?>+uO0*S 光学中频面形误差通常源自于以下因素:
>IS4 • 机床振动
1T#-1n%[k( • 亚孔径工具接触
Ze%S<xT!O • 亚孔径抛光过程中的过量
材料去除
FC+-|1?C • 检测与加工坐标系的对准偏差
fcdXj_u • 机床与工具的共振频率
D N!V".m`J • 工具与工件转速的固定比率
qVh?%c1.Y • 生成CNC加工文件的CAD数据文件质量(如样条
曲线与NURBS曲面)
,C6( 在规范光学表面中频空间公差的多种方法中,以下两种最为常用:斜率(SLOPE)和中频空间波长(Mid-Spatial-Wavelength, MSW)
+(DzE
H | 斜率(SLOPE)规定了最大允许的局部倾斜度[角分](通常,但不一定用于定义的采样长度):
|WaWmp(pQ qK$O /g, 中频空间波长(MSW)规定了最小允许的中频空间波长[毫米]:
zmQQ/7K `mcb0 两者(SLOPE和MSW)可以使用PanDao的“PRO-OPTICS-CONVERTER”工具相互转换。
}m<+tn3m PanDao软件读取中频空间波长(MSW)
参数;通常平面与球面不允许存在中频空间误差,对应参数设置为MSW=0。