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这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 ,i*^fpF`F" \s<iM2]Kl `iIYZ3i 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 I U4[}x gNLjk4H,S[ S偏振光照明的近场强度 9z_Gf]J~  P偏振光照明的近场强度 G!OD7: 后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 [Bpgb57En kf-ZE$S4 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 K~,,xsy,G& |EU}& |