这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 a~nErB
Qso"jYl< &+Iv"9 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 8w|-7$ v [c=T)]E1 S偏振光照明的近场强度
YLEa;MR 
P偏振光照明的近场强度 M((]> *g
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 n,E=eNc
}&{z-/;H 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 SpB\kC"K
KS6H`Mm}/ PostProcess { 6mH --!j OpticalImaging { #kt3l59Ty InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" m.K@g1 G OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" =vaC?d3 OpticalSystem { h/t{=
@
.5 SpotMagnification = 2.0 &S8Pnb)d } 10 D6fkjf } X/D^?BKC
.9Y,N&V<H 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 |<q9Ee :{ }]$+|)\ 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
[4_JK 7oK7f=*Q 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)