这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 <h$Nh0
?HP54G<{xz _::q
S! 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 Y=%SK8]Q; fjE S偏振光照明的近场强度
3H_mR
j9th 
P偏振光照明的近场强度 6hE. i
x
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 W-QBC-
3
aAlES< r 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 M*r/TT
!Od?69W, $ PostProcess { YpAJ7E|7 OpticalImaging { ,_JhvPWR,) InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" 1N`1~y OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" eb])= OpticalSystem { SNV[KdvP* SpotMagnification = 2.0 aKLA_-E } G2bZl%
,D } WcCJ;z:S?k
_^)Wrf+ 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 >|)ia5# $=x1_ 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
'`-W!g[
> 3f u*{8.XZ 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)