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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 /Mq9~oC  
                                             UYOveQ;  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 /qf(5Bm  
    ?w/i;pp<,  
    建模任务 Gs`[\<;LI  
    H{yUKZH*  
    系统构建块-扫描源                                                     e3T&KyPm?+  
    ,v^A;,q  
    How to Set Up a Scanning Source wg-qq4Q\  
                                                                                   *GUQz  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 )67pBj  
    !Q/oj Q  
    系统构建块-参数耦合 R -#40  
       K14FY2"  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion G#uD CF,O  
                                                                                       5B:% ##Ug5  
    系统构建块-失真分析仪 b({K6#?'[  
                                                                               p"l GR&b  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ML:Zm~A1U  
     N+0[p@0  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Z+8Q{|Ev  
    ZwzN=03T  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ICvl;Q  
    3rdrNc  
    O%H c%EfG  
      ,>C`|  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: d+m}Z>iQ1O  
    P0 4Q_A  
    Universal Detector K$1(HbL  
                                                                                   #aHJ|[[(n  
    总结-组件… |!Uul0O  
    $l W 7me  
     T<a/GE/  
    系统观感   )G+D6s23  
     P* Z1Rs_  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Y| dw>qO  
    `T#Jiq E  
     TWU[/ >K  
    性能评估-点位偏差 BE$Wj;Q  
    g6D7Y<}d  
                                       L>3-z>u,  
    性能评估-光斑直径测量                                                       1#w'<}h#U  
    XI5TVxo(q  
    , tEd>  
    j tH>&O  
    U,g)N[|  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 6,raRg6  
    dEu\}y|  
    VirtualLab Fusion技术 a#pM9n~a  
     fD* ?JzVY  
     
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