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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 FKWL{"y  
                                             b=PB"-  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 It#T\fU  
    y^:N^Gt  
    建模任务 pq +~|  
    >Q#\X=a>  
    系统构建块-扫描源                                                     %X -G(Z  
    Qv B%X)J  
    How to Set Up a Scanning Source Ihy76_OZ  
                                                                                   ,V &RpKek  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 L %20tm  
    W[B;;"ro  
    系统构建块-参数耦合 Z/oP?2/Afh  
       w%?6s3   
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion AQgagE^  
                                                                                        WfH4*e  
    系统构建块-失真分析仪 !n3J6%b9y/  
                                                                               1X-fiQJe  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 gJYX  
     Jty/gjK+  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               w,VUWja  
    5pz(6gA  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         `nv82v  
    DAVgP7h'  
    snvixbN  
     - p*j9 z  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ^GC 8^f  
    I?X!v6  
    Universal Detector QLDld[  
                                                                                   G F17oMi  
    总结-组件… <2ymfL-q  
    z;1qYW[-A  
     \(;X3h  
    系统观感   IRK(y*6  
     &XZS}n  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 j-(k`w\  
    ZnZ`/zNO  
     " "{#~X}  
    性能评估-点位偏差 xC YL3hl  
    cIOM}/gqv  
                                       "PfNC<MQo  
    性能评估-光斑直径测量                                                       r8TNl@Z  
    7thB1cOJ  
    @f%q ,:  
    A5kz(pj  
    ;Y%.m3  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 !_pryNcb  
    Hq."_i{I  
    VirtualLab Fusion技术 %dDwus  
     M2rgB%W)m  
     
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