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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 [W7\c;Do  
                                             x]jdx#'  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 SE7 (+r  
    FKvO7? K  
    建模任务 #,|_d>p:  
    3YZ3fhpw  
    系统构建块-扫描源                                                     Dv\:b*  
    E]e[Ty1  
    How to Set Up a Scanning Source MHzsxF|  
                                                                                   #Z3I%bkw H  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 pC?1gc1G  
    p|O-I&Xd  
    系统构建块-参数耦合 CI3_lWax%  
       2 3XAkpzp$  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 3dzqV aV  
                                                                                       xQ(KmP2hl  
    系统构建块-失真分析仪 :_b =Km<  
                                                                               (>@syF%PB  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 Z ysUz  
     2 ShlYW@~  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ?PU(<A+  
    aDJjVD  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         aN);P>  
    d)J] Y=j  
    #I@[^^Vw  
     :!it7vZ  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: W0,"V'C  
    :!*;0~#  
    Universal Detector 5]O LV1Xt  
                                                                                   l`w|o  
    总结-组件… JqV<A3i  
    Fn0LE~O}-8  
     whp\*]8  
    系统观感   ."@a1_F|  
     wQ/@+$>  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 d'@H@  
    [T?6~^m=  
     )-Sl/ G  
    性能评估-点位偏差 EO!cv,[a  
    FYE9&{]h  
                                       b}{9 :n/SC  
    性能评估-光斑直径测量                                                       v lnUN  
    n[p9$W`  
    2|H'j~  
    lNp:2P  
    |Btx&'m  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 ~$&r(9P  
    g&(~MD2{  
    VirtualLab Fusion技术 gJcL{]  
     vh{1u  
     
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