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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 T9Fe!yVA  
                                             RNt9Qdr4y  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 4zZ.v"laVM  
    ZVrZkd `  
    建模任务 bGxHzzU}  
    D2RvFlAXu  
    系统构建块-扫描源                                                     `A-  
    aj<r=  
    How to Set Up a Scanning Source ^z51f>C  
                                                                                   rE0%R+4?  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 m|v$F,Lv  
    F3L+X5D.yu  
    系统构建块-参数耦合 S 8)!70  
       ]zn3nhBI  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion yq[@Cw  
                                                                                       \9`.jB~<  
    系统构建块-失真分析仪 T2Yc` +  
                                                                               d\25  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 oN`khS]_v0  
     7xfS%'=y"  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               !7p&n3dz  
    B>@l(e)b  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         v:n[H]K|  
    <kWkc|z BY  
    8s %YudW  
     "8~PfLJ+  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: <j3|Mh_(I  
    >]uu?!PU  
    Universal Detector EV7lgKM^  
                                                                                   Ys|SacWC  
    总结-组件… CTxP3a9]  
    2jxIr-a1G  
     B:Awy/XMi  
    系统观感   lQy-&d|=#^  
     M27H{} v  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 2\;/mQI2A  
    6;wKL?snO  
     -!K&\hEjj  
    性能评估-点位偏差 T|0d2aa  
    Ijk hV  
                                       H!>>|6OPF  
    性能评估-光斑直径测量                                                       wuW{ 2+)B  
    [ako8  
    d24_,o\_  
    iio-RT?!  
    ?7J::}R  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 qw>vu7/z  
    $\|Q+7lQ  
    VirtualLab Fusion技术 4C ;y2`C  
     ZX#60o8  
     
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