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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-05-29
    摘要 wT- -i@@  
                                             <)a$5"AP  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 k"gm;,`  
    hy;V~J#  
    建模任务 eDP&W$s#  
    +U J~/XV  
    系统构建块-扫描源                                                     xLFMC?I  
     u? >x  
    How to Set Up a Scanning Source ~E8/m_> rU  
                                                                                   R'tvF$3=i  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 .!L{yU,  
    z7XI`MZN^  
    系统构建块-参数耦合 [^}bc-9?i  
       +ug2p;<B  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion cy!P!t,@  
                                                                                       hG~.Sc:G  
    系统构建块-失真分析仪 e<=Nd,v4;  
                                                                               cE`qfz  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 CfS;F  
     "{E%Y*  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               X,G"#j^  
    g}Lm;gs!>  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         DeW{#c6  
    _i7yyt;h  
    =&k[qqxg  
     f,6V#,  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 2i #Ekon  
    $Lbamg->E  
    Universal Detector =2( 52#pT  
                                                                                   . 4RU'9M  
    总结-组件… iuXXFuh  
    o-&0_Zq_  
     0/|Ax-dK  
    系统观感   f$5pp=s:n  
     2{BS `f  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 VuTTWBx  
    98 NFJ  
     ]G8"\J4 &  
    性能评估-点位偏差 jHE^d<=O^  
    AZik:C"Q  
                                       ~&<vAgy,  
    性能评估-光斑直径测量                                                       t OJyj49^a  
    bFL2NH5  
    +3XaAk  
    `ItoL7bi  
    kd"nBb=  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 Hq gg*4#  
    NhTJB7  
    VirtualLab Fusion技术 n,s 7!z/  
     UEx<;P8rP  
     
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