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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 Q7i^VN  
                                             yfYAA*S!z  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 S0\:1B  
    +-5CM0*&  
    建模任务 @UD6qA  
    yBeSvsm  
    系统构建块-扫描源                                                     R\6#J0&Y-  
    U%2pbGU  
    How to Set Up a Scanning Source ='>k|s:  
                                                                                   ,)%nLc  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 KWM.b"WnXr  
    @aI`ru+a  
    系统构建块-参数耦合 C}wmoYikV  
       I/fERnHM/+  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 7 pp[kv;!G  
                                                                                       GQT|T0>Ro  
    系统构建块-失真分析仪 _bFX(~37z?  
                                                                               AuSL?kZ4|Y  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 z;1yZ4[G  
     _^Rf*G!  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               4_)@Nq  
    u6|P)8?`  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ASPfzW2  
    2#ypM9  
    I9TOBn|6   
     pvkru-i]  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ^?w6  
    0lY.z$V  
    Universal Detector SkVW8n*s  
                                                                                   'd'*4 )]k  
    总结-组件… {'EQ%H $q  
    , En D3 |  
     ;IE|XR(  
    系统观感   =[3I#s?V  
     `G6Nk@9.  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 NgQ {'H[Y  
    ,"5Fw4G6*  
     V(w2k^7) F  
    性能评估-点位偏差 LQ373 j-  
    67%o83\  
                                       K%Jy?7 U  
    性能评估-光斑直径测量                                                       Q(>89*b&  
    gtqgf<mS  
    e\tcP  
    44]/rP_m  
    =X]$J@j  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 yIOoVi\m  
    WR%x4\,d#  
    VirtualLab Fusion技术 rt^<=|Z  
     9g|o17  
     
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