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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-29
    摘要 &q":o 'q  
                                             #mllVQ  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 i}wu+<Mk  
    PFPfLxna  
    建模任务 #h r!7Kc;N  
    V7lDuiAI  
    系统构建块-扫描源                                                     k.lnG5e  
    <CA lJ  
    How to Set Up a Scanning Source l>=c]  
                                                                                   /u #9M {  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 (9cIU2e  
    cOUO_xp(  
    系统构建块-参数耦合 {.!:T+'Xi\  
       .5 dZaI)  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion iz*aBXVA[  
                                                                                       5n9F\T5  
    系统构建块-失真分析仪 3}h&/KN{  
                                                                               .Zwn{SMtu  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 RisrU  
     J|'T2g  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               c89RuI `B~  
    s#d# *pgzh  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         8"<!8Img  
    Q]|+Y0y}X  
    y!v$5wi  
     g:2/!tujL  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: x%(!+  
    }XXE hOO  
    Universal Detector 9s7B1Pf  
                                                                                   \DQ;v  
    总结-组件… IsRsjhg8x  
    KX9ZwsC0  
     |/<iydP  
    系统观感   Wc]Fg9E  
     3aDma/  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 .4^Paxz  
    mYy3KqYu  
     { j/w3  
    性能评估-点位偏差 =Wjm_Rvk9  
    p[/n[@<8=  
                                       f a\cLC  
    性能评估-光斑直径测量                                                       ~P/G^cV3s  
    N9*$'  
    ZO;]Zt]  
    )Tb;N  
    )b-G2< kb  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 sV*Q8b*  
    d")r^7  
    VirtualLab Fusion技术 |j!D _j#U  
     XSxya .1  
     
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