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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 昨天 08:37
    摘要 p#_ 5w  
                                             ]Qa|9G,b  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ! h92dH  
    upX@8WxR  
    建模任务 |~PaCw8-ge  
    6As%<g=  
    系统构建块-扫描源                                                     67 ~pn  
    xA`j:zn'j  
    How to Set Up a Scanning Source cOZBl;}  
                                                                                   =;E0PB_w  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 e8#83|h  
    M{)&SNI*C  
    系统构建块-参数耦合 s|`wi}"x  
       rs( e  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion R/kJUl6HEl  
                                                                                       |I29m`  
    系统构建块-失真分析仪 +r9neS.l  
                                                                               9NNXj^7  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 t\TxK7i  
     _N)&<'lB<  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               Px9 K  
    3^xq+{\)  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         w7&.U qjf  
    O0s!3hKu  
    i]L=M 5^C  
     iz{TSU  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: os&FrtDg  
    lI+^}-<  
    Universal Detector DEt!/a{X  
                                                                                   .N@+Ms3  
    总结-组件… TbN{ex*  
    .\&k]}0qA?  
     bN03}&I  
    系统观感   ~8"oH5  
     |lg jI!iK  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 z Tz_"N I  
    "v( pluN|  
     kFC*,  
    性能评估-点位偏差 XgM&0lVT  
    BG= J8  
                                       ~PpDrJ; Va  
    性能评估-光斑直径测量                                                       I%GQ3D"=  
    G--(Ef%v'  
    ZS;V?]\(  
    K"&^/[vMB  
    RqP_^tB  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 yU4mS;GX  
    tf|;'Nc6  
    VirtualLab Fusion技术 [#RFdn<  
     )0ydSz`B  
     
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